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主题：【讨论】截面SEM的制样方法

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风云变幻
v3165605
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2017/12/13 14:22:27 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有一个方式是用GD-OES打一下，可以得到从外到里各层分布含量曲线，从曲线来间接判断涂层分布形态。这种方法不需要对样品做剖面，只需切个1平方厘米左右的样就可以。
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平安喜乐
v3122274
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2017/12/21 17:05:55 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
10楼正解，此样品用氩离子抛光仪做再合适不过
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canne_yswei
canne_yswei
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2017/12/22 15:58:39 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wszlm(wszlm) 发表:
这样做的一个效果就是断面不整齐；是否可以考虑类似金属晶相显微的方法，断后包埋在树脂里面进行打磨后测试？只是一个想法，欢迎讨论！


这样处理的精度不够吧，毕竟有机膜只有50nm厚度。
可以试试氩离子抛光。但是不直到这薄膜能不能经受离子束轰击不变形。
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