主题:【求助】SEM的View field

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fengyinqiao
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ZEM的view field指的是什么?是当前工作距离软件扫描窗口的宽度吗?
蔡司宣传册上写的是“Field of view: 6mm at analytical working distance”。
FEI写的是“最大视场宽度  束重合点:23mm(WD4mm)”
谢谢!
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asahi42
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ZEM的view field指的是什么?是当前工作距离软件扫描窗口的宽度吗?
蔡司宣传册上写的是“Field of view: 6mm at analytical working distance”。
FEI写的是“最大视场宽度  束重合点:23mm(WD4mm)”
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最大视场指的是在特定的加速电压和束流强度的条件下,在样本所指的工作距离(Zeiss=analytical WD=5~8.5mm,FEI=4mm),最小放大倍数下,电子束在样品上从左到右扫过的直线长度。
Zeiss的我还没查到,但是FEI的是2.3mm。也就是说,该条件下,一张照片能够覆盖样品2.3mm的宽度。
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Zeiss的我还没查到,但是FEI的是2.3mm。也就是说,该条件下,一张照片能够覆盖样品2.3mm的宽度。

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呵呵,不客气,你们TESCAN双束在重合点的HFW是多少?
小M
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WD 9 mm for SEM - WD 12 mm for FIB,55度角
fengyinqiao
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