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主题：【已应助】ICPMS离子真空规故障

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禾禾的实验室
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发表于：2022/06/29 12:27:05 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
打开真空泵，当分子涡轮转数达到100%时，离子真空规（AN）故障，电流超出范围，有老师们遇到过这种情况吗？具体是怎么处理的，是不是只有报修了
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m3149125
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2022/6/29 13:51:52 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空规换一个，最好让维修的上门，现场检修吧
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wuyuzegang
dahua1981
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2022/6/29 16:30:47 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有可能是真空规的问题，也有可能是两块加压板的电路问题。真空规可以自己换但是加压板的问题还是让维修的上门现场检修吧。
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timstoicpms
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2022/6/30 11:14:21 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我今天也遇到了，报修吧。
Ion Gauge Assembly ，货号 G7003-80303

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2022/7/8 10:43:02 Last edit by timstoicpms
次元之暗面
v3195919
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2022/6/30 17:13:33 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 timstoicpms(timstoicpms) 发表:我今天也遇到了，报修吧。Ion Gauge Assembly ，货号 G1960-80303
这是什么情况啊老师
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2022/6/30 19:03:23 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 次元之暗面(v3195919) 发表:
这是什么情况啊老师
待机、测试阶段，离子规不会坏；

但是 卸载真空，后续重新加电时，离子规就容易坏

（类似于 灯泡亮着，很少会烧灯丝；但 开关电路时，灯泡灯丝容易在瞬间电流烧了）

我今天是卸载真空、断电，更换 炬箱X-Y轴步进马达皮带；
重新加电时，离子规就“挂了”
有维保合同，明天就能收到备件，自己再更换。
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2022/7/4 12:23:36 Last edit by timstoicpms
次元之暗面
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2022/7/2 23:06:17 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 timstoicpms(timstoicpms) 发表:
待机、测试阶段，离子规不会坏；
但是 卸载真空，后续重新加电时，离子规就容易坏。

我今天是卸载真空、断电，更换 炬箱X-Y轴步进马达皮带；
重新加电时，离子规就“挂了”
有维保合同，明天就能收到备件，自己再更换。
我今天是电源坏了，主电源供给RF的回路没有输出，真空-冷却-炬管盒三轴电机供电都正常。还是刚一年的机器，安捷伦的产品力这么差了吗？？？
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timstoicpms
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2022/7/3 17:46:46 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 次元之暗面(v3195919) 发表:
我今天是电源坏了，主电源供给RF的回路没有输出，真空-冷却-炬管盒三轴电机供电都正常。还是刚一年的机器，安捷伦的产品力这么差了吗？？？
我这儿 7700  7900 原装电源分别撑了6年、5年，都更换新的了
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Insm_53edbced
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2022/11/18 22:03:42 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wuyuzegang(dahua1981) 发表:有可能是真空规的问题，也有可能是两块加压板的电路问题。真空规可以自己换但是加压板的问题还是让维修的上门现场检修吧。
离子规和真空规是一个东西吗
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pfizer
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2023/4/29 18:05:09 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
离子规就是真空规
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