主题:【求助】离子色谱报错真空泵隔膜

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昨天发现仪器自动停止序列,序列停止了, 但是离子色谱和采样器还是正常运行,然后重新运行此序列(失败),重启软件,新建序列又好了,但是过了几个小时在日志中出现了,Code 3: Possible worn vacuum pump diaphragm(s) resulting in higher PWM rate. Possible airflow path blockage.        (代码3: 可能磨损的真空泵隔膜导致更高的 PWM 速率。可能的气流通道阻塞。),请问大家这个是什么问题,仪器是戴安IC离子色谱,之后出现了Module not in Running state.报警,问问大家是不是需要更换什么备件,仪器停放了2年了,现在开始运行1个月了
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