主题:【讨论】FIB制备样品有很多这种黑色条条

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imrszl
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TEM 拍摄用的仪器是FEI Talos F200X,工作电压200kV,基体双束明场,忘记保存衍射照片了,所以不清楚是什么操作适量。照片的两侧是两种物相,左侧是HCP结构的析出相,右侧是BCC结构的基体。黑色条条只在BCC基体中看到,HCP析出相中很干净。
FIB制备样品使用的设备是 FEI Helios Nanolab 650,减薄先在30kV减,后用18kV减,最后用5kV清洗薄区。个人更倾向于这是由于制样过程中引入的artifacts,尚未仔细表征过这种缺陷(粗略地表征发现是平行于某些晶面的,在某些特定g下才可见,所以给位错表征带来了极大的困扰),想求助各位同行。请问这种黑色的条条到底是什么呢?该如何避免引入这样的缺陷?
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imrszl
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原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表: 凹坑仪工作是磨,不是砸,所以仪器设计肯定是尽量追求转轴稳定。但是轮子的变形磨损和研磨膏的流动会造成轮子一直有振动。硬轮比较粗糙,压力集中在一点,精细活儿慎用。减小载荷,降低转速肯定是有用的,但是研磨速度也会变慢。磨片在底座上要粘贴平整,用的蜡尽量少。凹坑仪不能去除大划痕,所以磨片要预先抛光,带划痕的样品容易裂开。高熵合金毕竟是合金,比单晶半导体材料还脆?
解释得好清楚,这回明白啦,谢谢蓝莓大大。 可惜这边没有橡胶轮,也不知道哪里有卖。 其实我是在帮同学在搞,样品的具体情况不是特别清楚。只知道这种合金里面有非常多的脆硬相,塑性很差,一磨就裂。其实这种合金没什么实际意义,甚至不能算是高熵,析出了那么多相了,熵想高也高不起来了。
蓝莓口香糖
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原文由 imrszl(Ins_509a97bd) 发表:
想请教一下凹坑仪转轴不稳定是故意设计成这样(以便凹坑)还是是我们这台设备年久失修落下的老毛病呢?凹坑仪一般是施加恒定载荷的,转轴不稳定使得转轮产生的力比预设载荷更大所以样品开裂了(倒也说得过去),是不是用更低的载荷就可以避免了呢? 减薄的时候我有刻意调整样品位置使其在中心转轴上,仪器的对中应该也是没有问题的,我们这边管设备的老师一般会定期校正,减薄的时候我也开shutter大致用肉眼检查过,是在打中心的呢。
凹坑仪工作是磨,不是砸,所以仪器设计肯定是尽量追求转轴稳定。但是轮子的变形磨损和研磨膏的流动会造成轮子一直有振动。硬轮比较粗糙,压力集中在一点,精细活儿慎用。减小载荷,降低转速肯定是有用的,但是研磨速度也会变慢。磨片在底座上要粘贴平整,用的蜡尽量少。凹坑仪不能去除大划痕,所以磨片要预先抛光,带划痕的样品容易裂开。高熵合金毕竟是合金,比单晶半导体材料还脆?
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2022/9/23 22:35:14 Last edit by drizzlemiao
m3033883
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减的时候把铜网的卡扣放在夹子的夹头里面。这样减的时候卡扣不会被减坏,样品也就夹得牢。
m3033883
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如果样品没有磁性,可以不用胶的。即使样品有磁性,夹的时候可以把样品长的方向顺着双联网的那个卡扣的方向放,如果是长条状的,则最好把条的一段卡进双联网的交接的缝里,但这就要求减的时候样品不能断开。一个双联网只能夹一个样品。如果样品硬和厚,为防止铜网被减掉,可以用钼网。反正就是根据样品的特点选不同材料和不同直径的双联网。对磁性样品,如果用胶的话,则最好在体视显微镜下操作。用医院中医用的那个针灸的针放胶。
imrszl
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原文由 m3033883(m3033883) 发表:我这边遇到这种又硬又脆的样品一般是尽量磨到50微米以下。样品碎了后就选碎片。如果碎片的大小超过一毫米,就可以用双联铜网或者钼网夹住这个小片,再离子减薄。
感谢提供经验!! 有几个问题想请教一下:铜网夹住样品之后还需要用环氧树脂粘一下吗?还是夹住就行?如果只是夹住的话,有没有可能减薄的时候把铜网打掉,样品掉落?一个双联网可以放多个小薄片吗?还有就是减薄的时候铜网遮挡会影响减薄吗? 抱歉问题有点多了,之前我做的都是均匀样品,一喷就完事,这回遇到了难做的样品真的好心累(?_?;
m3033883
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我这边遇到这种又硬又脆的样品一般是尽量磨到50微米以下。样品碎了后就选碎片。如果碎片的大小超过一毫米,就可以用双联铜网或者钼网夹住这个小片,再离子减薄。
imrszl
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原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:凹坑仪的转轴不是很稳定,铜轮就是一直在敲样品,如果抛光膏太稀还会有比较大的刮销,碎了也正常。有坑的厚切片比没坑的薄切片好用。我有点怀疑是离子减薄仪的聚焦有问题。
想请教一下凹坑仪转轴不稳定是故意设计成这样(以便凹坑)还是是我们这台设备年久失修落下的老毛病呢?凹坑仪一般是施加恒定载荷的,转轴不稳定使得转轮产生的力比预设载荷更大所以样品开裂了(倒也说得过去),是不是用更低的载荷就可以避免了呢? 减薄的时候我有刻意调整样品位置使其在中心转轴上,仪器的对中应该也是没有问题的,我们这边管设备的老师一般会定期校正,减薄的时候我也开shutter大致用肉眼检查过,是在打中心的呢。
蓝莓口香糖
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凹坑仪的转轴不是很稳定,铜轮就是一直在敲样品,如果抛光膏太稀还会有比较大的刮销,碎了也正常。有坑的厚切片比没坑的薄切片好用。我有点怀疑是离子减薄仪的聚焦有问题。
imrszl
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原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:凹坑居然不用毛毡轮。HEA的特点不就是韧性比较好吗?一天都不出洞,什么键合能这么强?FIB加工时间也比其它材料长?
毛毡轮一般是凹坑后用来抛光的吧,直接用的话效率好低的。。。材料是bcc难溶高熵,又硬又脆。 FIB加工其实差别就不是很大了,难减确实也是更难一点(相对于其他那些比较软的材料而言),但是因为FIB是30kV的Ga离子,能量比较高,减薄的效率还是可以的。
蓝莓口香糖
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凹坑居然不用毛毡轮。HEA的特点不就是韧性比较好吗?一天都不出洞,什么键合能这么强?FIB加工时间也比其它材料长?
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