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主题：【已应助】stem模式下edx调不清楚

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发表于：2023/01/03 17:06:58 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
stem模式下edx调不清楚，检测合轴没有问题。调z高度也没有办法调清楚，这是不是机台内部的出现故障，需要叫上门服务吗？
推荐答案：天黑请闭眼回复于2023/01/31
STEM合轴是电镜部分的调整，传送信号到EDX系统，所以调整通常在电镜部分。这就需要知道一些基本信息：
1. 你的电镜是什么型号？
2. 你说的EDX调不清，是面扫描模式下图像不清？如果是HAADF图像不清，应该是STEM没有很好的合轴，但你说检测了合轴，没问题。
3. 是mapping的空间分辨率不高？采用的什么束斑大小来做EDX？样品是什么？要做什么标尺下的mapping？一般的场发射，做到3 nm空间分辨率已经很高了。
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2023/1/4 9:59:12 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有可能，可以先电话联系一下售后
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天黑请闭眼
shxie
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2023/1/31 11:50:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
STEM合轴是电镜部分的调整，传送信号到EDX系统，所以调整通常在电镜部分。这就需要知道一些基本信息：
1. 你的电镜是什么型号？
2. 你说的EDX调不清，是面扫描模式下图像不清？如果是HAADF图像不清，应该是STEM没有很好的合轴，但你说检测了合轴，没问题。
3. 是mapping的空间分辨率不高？采用的什么束斑大小来做EDX？样品是什么？要做什么标尺下的mapping？一般的场发射，做到3 nm空间分辨率已经很高了。
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