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主题：【求助】硅片截面SEM测试样品处理

浏览0 回复4 电梯直达
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发表于：2023/02/20 17:30:09 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
麻烦请问一下各位大神，现在是我在硅片上组装二氧化硅微球，上面镀一层膜，我想测这个核壳结构的壳厚度
目前现在想着测硅片截面，有什么方法处理硅片，可以测得呢？


之前想的是把做好的硅片切开看横截面，但是截面不平整，看到的截面上核壳结构数量很少，不连续。
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2023/3/9 17:39:13 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Ion milling 或者FIB可以帮你尝试打开新世界大门~镀的啥膜？Ion milling应该会是一个不错的方法。
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hmzhou83
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2023/3/11 15:13:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以做离子束切割
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2023/3/16 18:15:38 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
找我做fib
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2023/3/18 10:59:14 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
聚焦离子束测试可以联系我，微信号TYXC88899999
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