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主题：【求助】安捷伦ICP-MS7800反馈功率过大

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发表于：2023/05/31 13:56:54 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请教各位老师，实验室用的ICP-MS安捷伦7800型号的，最近测试样品时反馈功率有点异常，等离子体点火后预热时反馈功率在2W左右，调谐时20W左右，测试样品时反馈功率能一下子增大到90W，甚至能到100W以上，射频功率大概在1500-1600W左右（仪器那里推荐在分析模式下，反馈功率<20W），测试的样品也就是普通的水样和一些基体并不复杂的样品。测试完样品后有进行RF匹配，会熄火，提示的错误是等离子体在分析期间被关闭（真空），接着就是闸阀关闭，重新点火后再进行RF匹配不熄火，但是测试样品时反馈功率依旧很大，请问这种现像是怎么情况呢？

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2023/6/1 9:00:19 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

等离子体点火后预热时反馈功率在2W左右
—— 这说明，按照工厂预设参数 1550W 时，RF Matching 是正常的

调谐时20W左右，测试样品时反馈功率能一下子增大到90W，甚至能到100W以上
—— 你得去看测试方法的批处理，缓慢调谐 RF matching 数值让反射功率降下来（正常数值应该介于 1.4~1.7之间）

如果这一步也做了，但是反射功率降不下来；
或者是得用很极端的 RF matching 数值（比如低端0.2，或者高端3.0）才能让反射功率降低，那么去找安捷伦报修。
并不是匹配箱坏了，而是匹配箱中的定位光耦沾染灰尘，导致实际的 RF matching 零点与定位光耦认为的“零点”不一致。
自己动手能力强的话，可以拆出匹配箱光耦，酒精棉花擦拭下就 ok；
动手能力弱，那就花钱让安捷伦工程师上门

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