主题:【求助】请问看不清楚sem图片,自动对焦也不顶用gaigai怎么调整?

浏览0 回复4 电梯直达
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小不董
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用的是BSD,背散射模块?这个成像本来就很差,可以先用二次电子成像清楚后,再看背散射图像。
一颗蒲公英
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原文由 小不董(doxw0323) 发表:
用的是BSD,背散射模块?这个成像本来就很差,可以先用二次电子成像清楚后,再看背散射图像。
背散射在大电镜里实时信号是比较弱的,但是在台式电镜里面普遍信号还是可以的,是可以直接成像的。(没追究过具体原因)
一颗蒲公英
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楼主的这张图,看起来没有任何信息,但是在图像的第四象限位置又有一个点(不知道是孔,还是异物)。有可能是你这个位置本身就比较平,背散射立体感也是会差一些。你可以找样品的边界,或者导电胶的边界,先调一下看看机器状态。你指望台式电镜里的自动聚焦帮你找准确的焦点,那有点太天真了。
Ins_c8fef512
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