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主题：【讨论】如何选择低真空扫描电镜的压力

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zemb
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发表于：2007/08/13 10:06:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在用低真空扫描电镜做试样观察时，如何选择（调整）压力（样品室真空度）?
据说一般不导电样品在几十Pa压力就可以了，如何来确定一个最佳值呢？
做生物样品以至含水样品应选择多大的压力？
压力大小与图像的质量有什么关系呢？
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2007/8/13 10:26:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
根据样品的绝缘性以及湿度
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bossvip
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2007/8/13 10:36:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
给些具体值以供参考：聚合物在VP模式下12KV/43Pa（BSE图象）；半导体材料10KV/20Pa（BSE图象）。这只是我看到的一些资料上的特定材质的选用电压/压力关系。具体的还是需要自己根据特定材料调节。
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miumiu
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2007/8/17 10:43:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zemb 发表:
在用低真空扫描电镜做试样观察时，如何选择（调整）压力（样品室真空度）?
据说一般不导电样品在几十Pa压力就可以了，如何来确定一个最佳值呢？
做生物样品以至含水样品应选择多大的压力？
压力大小与图像的质量有什么关系呢？


一般靠点经验，但是，真空度越低，分辨率就会下降
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jeolzxj
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2007/8/23 22:38:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

一般靠点经验，但是，真空度越低，分辨率就会下降

这只是JEOL的说法,其实不然,五六百帕一样可以达到3nm的分辨率.
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annelugel
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2007/9/18 13:23:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jeolzxj 发表:

一般靠点经验，但是，真空度越低，分辨率就会下降


这只是JEOL的说法,其实不然,五六百帕一样可以达到3nm的分辨率.

真空度和分辨率还是有关系的，不仅JEOL,我有试过用ZEISS和TESCAN的电镜去拍，在五六百帕拍10万倍的图片，也很困难。
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jeolzxj
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2007/9/18 20:49:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

真空度和分辨率还是有关系的，不仅JEOL,我有试过用ZEISS和TESCAN的电镜去拍，在五六百帕拍10万倍的图片，也很困难。

一般样品钨灯丝的10万倍当然困难,用标样就会好很多.场发射的低真空又会有很大的提高,十万倍也很轻松.
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jzhx68
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2007/9/21 9:33:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 annelugel 发表:
原文由 jeolzxj 发表:

一般靠点经验，但是，真空度越低，分辨率就会下降


这只是JEOL的说法,其实不然,五六百帕一样可以达到3nm的分辨率.


真空度和分辨率还是有关系的，不仅JEOL,我有试过用ZEISS和TESCAN的电镜去拍，在五六百帕拍10万倍的图片，也很困难。
五六百帕的真空度下可以拍到十万倍，我最高拍到十五万倍。
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