影响谱线强度的因素除了试样中待测元素的浓度外，有两大方面：原子结构内部因素及试样激发过程的外部因素。 A 内部因素包括谱线的统计权重、跃迁机率及激发电位等。 B 外部因素主要表现为试样的蒸发参数和激发温度。蒸发参数影响等离子体区中原子的总浓度，激发温度影响等离子体区中激发的原子数。蒸发参数与被蒸发物质的沸点、熔点及试样的蒸发温度等因素有关。通常被蒸发物质的沸点越低。就越易挥发，而蒸发温度受到激发光源的温度、试样的组成以及电极的材料和形状的影响。激发温度取决于激发光源的性质。强度公式表明，激发温度越高，强度越大。但激发温度高，又会引起原子的电离，影响原子线的强度.
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