主题：【培训】扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧

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扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧
2005-7-1 

课程对象
电子工艺工程师  品质工程师  管理工程师  质检人员

师资介绍：
施明哲, 高级工程师，二十多年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验，在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章，并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖；《VLSI失效分析技术》获国防科学技术二等奖。

培训时间：05年9月12日~16日

培训地点：电子五所院内

培训费用：4000元/人.五天

培训证书  中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书

课时安排：

日期 时间 授课内容
9月12日 9：00－12：00  扫描电镜理论学习
      14：00－17:00  同上
9月13日 8：30－12：00  同上
      14：00－17:00    同上
9月14日 8：30－12：00  扫描电镜演示与答疑
      14：00－17:00    能谱仪理论学习
9月15日 8：30－12：00  同上
      14：00－17:00  同上
9月16日 8：30－12：00  同上
      14：00－17:00  能谱仪演示与答疑

联系人：韩越，李华  电话：020-87236986        传真：020-87237185

网址：www.rac.ceprei.com      EMAIL:  han@ceprei.com

培训报名表
单位名称
专业领域
参加课程
联系人
工作部门/职位
联系电话
传真
Email
参加人数

备注
说明：
1，请详细填写报名表格，发传真或Email给我们。
2，收到您的报名表后，本中心客户代表会致电给您进一步确认培训细则。
3，现场以现金或支票方式支付
1)费用包括：培训费、资料费、证书费、午餐费
2)时间安排 报到：9月12日上午8：00~8：30
4，食宿自理，需要在广州住宿的客户，我室可以帮忙联系酒店：
电子五所招待所：020-87237064  标准双人间：168元/天. 普通三人间：118元/天.

课程内容提纲

第一部分：扫描电镜
第一章：扫描电镜
1．1 慨论
1．2扫描电镜原理
1．3扫描电镜结构
1．4扫描电镜的分辨率
1．5扫描电镜图像的形成
第二章：高分辨扫描电子显微镜
2．1 场发射扫描电子显微镜
2．2  SE和BSE之差做为信号的方式
2．3 工作距离
2．4 使用强磁物镜的方式
第三章：扫描电子显微镜的实践
3．1 扫描电子显微镜的操作
3．2 扫描电子显微镜图像的毛病
3．3 扫描电子显微镜的保养
3．4 扫描电子显微镜的安装条件
3．5 扫描电子显微镜的验收与维护
3．6小结
第四章：计算机图像演示

第二部分：能谱分析
第一章、引  言
第二章、EDS系统的工作原理
1．系统概述
2.吸收和处理过程
3．计数率的考虑
4．谱仪的分辨率
第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用
1．萤光产额
2．连续辐射的产生
3．莫塞莱定律X射线定性分析
4．X射线的吸收
5．二次发射（萤光）
第四章、X射线测量
第五章、能量定性分析
1．检出限
2．探测器的效率
3．空间分辨率
3．谱仪分辨率4．
伪峰（“artifact”peaks）
5．定性分析结果的表示方法
第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择
1．加速电压
2．电子源
3．孔径光栏选择
4．镜筒的合轴
5．样品/探测器的几何条件
第七章、定 量 分 析
1．脉冲计数统计误差
2．块状试样的定量分析
第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤
1．定性分析概述
2．定量分析概述
第九章、能谱失真与杂散幅射
1．谱峰的失真
2．背底的失真
3．杂散辐射第
十章、能谱的验收与维护

第三部分：实际操作