主题:如何测定表面镀层的成分组成和含量

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atiger
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我用化学方法去除热镀铝板表面的镀层后,感觉表面还有一层薄膜,做金相没做出来,想做XRD, 但我担心膜太薄会被击穿影响结论。我最终的目的是想了解表面是否还有铝,以什么形态存在,含量有多少,我应该做哪些测试。
推荐答案:nile6835回复于2006/03/11
不太明白你的问题
补充答案:

chengxps回复于2006/03/14

刚才发错啦。不是超过20A,是小于20A。

defect回复于2006/08/29

那請問XPS可以做出最大的厚度是多少呢?

feixiong5134回复于2006/08/30

文献上说最大厚度使5nm左右

skyhunter回复于2006/09/26

可以试试扫描电镜+能谱仪

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你是怎么感觉出来的?感觉有多厚?如果超过20A,恐怕用XPS就不行啦。就是你说的,“打穿啦”。实际上不是“打穿啦”,是能够检测到你感觉的那层的下面。
chengxps
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我看文献说AES扫的厚度要小于XPS,如果小于20埃是不是可以考虑用AES呢?
defect
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比较麻烦。
从厚度来说用俄歇最好,但要测出化学态很困难,尤其是定量分析一块,俄歇只能做半定量分析,充其量给出你一个大概的原子浓度百分比。
用xps的话,那么就想你说得很容易被击穿的
tiger_zhang
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