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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【讨论】ＳＥＭ中测物质成分的方法准确率有多高？请高手指点

浏览0 回复6 电梯直达

futaocheng

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发表于：2006/12/04 20:08:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

ＳＥＭ中测物质成分的方法准确率有多高？请高手指点...

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2006/12/6 10:01:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

看能谱厂商的技术了

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毒菇九剑

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2006/12/31 13:47:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

啥叫准确率啊？

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yangqing8179

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2008/9/20 18:54:29 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我专门做SEM和EDX分析,包括集成电路和元件失效性，包括一些大的连接器件公司都我我做，需要的话跟

我联系.可以提供专业的SEM/EDX报告.13564429710(杨).qq190154512

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fengyonghe

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2008/10/30 2:14:46 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 futaocheng 发表:
ＳＥＭ中测物质成分的方法准确率有多高？请高手指点...

相对误差高斯分布（正态分布）的标准偏差：σ
在 ±σ，±2σ，±3σ出现的概率分别为68.3%，95.4%，99.7% 相对误差=1/√N
重量百分数＞20%允许的相对误差≤±5%
重量百分数3%～20%允许的相对误差≤±10%
重量百分数1%～3%允许的相对误差≤±30%
重量百分数0.5%～1%允许的相对误差≤±50%
1. 不平坦试样，可用三点分析的平均值表示，或在总量误差小于等于±5%的情况下，如果确认没有漏测元素时，允许归一化作为定量分析结果。偏差大于±5%，只能作为半定量结果。
2. 无标样定量：重量百分数50%，准确度（这里指绝对误差）约为2.5% 。任何谱仪B,C,N,O等超轻元素准确度都较低。
3. 有标样定量：大多数元素的准确度近似1%或更好。如果元素含量50%。则准确度为0.5% 。超轻元素的准确度可以达到百分之几。B元素结果较差

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