1、RF发生器
　　目前商品化ICP光谱仪都使用两种类型的RF发生器，一类是自激式发生器，另一类是晶体振荡式（它激式）发生器。自激式是采用L-C振荡回路，工作线圈即是L，参与振荡，等离子体本身就是振荡回路的一部分，所以负载的变化将引起振荡回路参数的变化，正向功率和振荡频率都会产生波动，而且点火不容易。而它激式的发生器就不存在这个问题，它的原理基于石英晶体的压电效应，用晶体的谐振频率来取代L-C振荡回路，所以它具有频率、功率稳定性好，点火容易等特点。发生器在5－60M都可以满足ICP工作的需求，但商品化的ICP光谱仪都使用工业标准的27.12M和40.68M两个频率，因为国际上规定凡工业和医用高频设备使用这两个频率，即使它有泄漏也不干扰正常的通讯广播。按原理上说，频率越高趋肤效应越大，等离子体的中心通道越宽，样品经雾化后通过中心通道被间接加热，40.68M的原子或离子密度降低，背景降低，从而提高了信背比，降低了如K等易电离元素的检出限；但是由于中心通道宽，使其温度比27.12M低，因此影响等离子体的稳定性，而且原子密度降低，所以将影响一些难电离元素的灵敏度。对于点火效果来说，如果是自激式的发生器一般要用40.68M，这样容易点火，而对于晶体控制式，27.12M同样可以获得很好的点火效果，况且对于维修工程师来说，他们希望是更安全的低频率。
　2、IRIS Intrepid II系列型号说明
　　Thermo的IRIS Intrepid II系列ICP产品是基于新的CID38A检测器、改进的RF系统、中阶梯光学系统和TEVA软件，在2003年年初同时推出了三个型号：XSP（扩展稳定性）、XDL（扩展检出限）和XUV（扩展紫外波长）。XPS在IRIS AD 双闭环直接耦合的基础上改进了RF发生器的实时控制电路，虽然把最大输出功率限定在1500W，但其等离子体光源显得更稳定；另外改进了检测器与光室的隔热，改进了光室内的氩气走向；改进了光室恒温系统，这一系列改进使得XSP可获得优异的短期和长期稳定性，所以特别适合于工矿企业、商检质监、测试中心等样品量多，品种复杂的单位，XSP在国内有近200台，使用情况良好。XDL还是使用原来IRIS AD的RF发生系统，目的是通过提高功率等方法来扩展检出限，目前主要是用于纯基体行业，如水和环保行业，通过提高功率来改善此类样品中如Pb等重金属测定的信噪比。但至今XDL占整个系列销售比例不到1％，毕竟用户不只是分析水，就环保来说还是经常分析大气粉尘和土壤等。对于存在大量基体的情况下，信号提高的同时基体背景干扰可能更加严重，虽然仪器检出限（IDL）降低了,但并没有有效地降低方法检出限（MDL）。由于产量较少，所以生产地成本相对较高。XUV是通过改变中阶梯光栅的衍射角，使得紫外波长扩展到130nm，这是油品分析的专业仪器，因为目前国际上对油品中Cl-的分析一般要求使用134nm灵敏线，同时配合油料进样系统进行测定。所以说IRIS Intrepid II系列的三种型号是针对于不同的应用，从目前的销售情况来说，由于XSP的超高稳定性，使其适用面更广一些。