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主题：【求助】样品喷镀金属于二次电子像关系

浏览0 回复17 电梯直达
wariii
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发表于：2007/08/03 11:40:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2007/8/3 13:48:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
謝謝你的分享
我收下了
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2007/8/3 17:15:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是这样的,我曾经试过!
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2007/8/3 17:27:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
俺在努力中，估计22世纪可以了
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磨剪子嘞 锵菜刀
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2007/8/6 13:14:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 RENXIN 发表:
原文由 wariii 发表:
上面表达不明确
问表面镀不同金属，他们之间二次电子的产额和成像不同之处。据说镀重金属（如金）会得到更好的二次电子像，怎么解释啊？谢谢

另外一个事实也很难让人相信。
事实是， 样本镀了重金属后所谓的二次电子像是亮了很多，但您所看到的已经不是二次电子了。
是什么了呢，大家先说说


背散射呗，以前的帖子里讲过的；验收用碳喷金样品很能说明问题。
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zemb
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2007/8/6 23:08:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般来说，在样品表面镀金主要是为了使不导电样品表面导电，以消除样品的充电效应。
样品表面镀金，增加了样品表面材料的原子序数，减小了电子束与样品的作用范围，这样可以提高分辨率，也就是更容易调出清晰的图像，并不是二次电子有多大的增加。用金做分辨率标样也是这个原因，如果用铁，肯定得不到好的分辨率。
但一般还没有在导电金属样品表面镀金的，有兴趣者不妨试试，看看效果如何。
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2007/8/7 15:21:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 amoslau 发表:
原文由 RENXIN 发表:
原文由 wariii 发表:
上面表达不明确
问表面镀不同金属，他们之间二次电子的产额和成像不同之处。据说镀重金属（如金）会得到更好的二次电子像，怎么解释啊？谢谢

另外一个事实也很难让人相信。
事实是， 样本镀了重金属后所谓的二次电子像是亮了很多，但您所看到的已经不是二次电子了。
是什么了呢，大家先说说


背散射呗，以前的帖子里讲过的；验收用碳喷金样品很能说明问题。

再请问为什么二次电子检测器会探测到背散射电子呢，如果这个问题您不屑回答的话，请问是否有可能二次电子检测器只看二次电子，背散射电子检测器只看背散射电子呢。
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2007/8/8 14:03:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 RENXIN 发表:
再请问为什么二次电子检测器会探测到背散射电子呢，如果这个问题您不屑回答的话，请问是否有可能二次电子检测器只看二次电子，背散射电子检测器只看背散射电子呢。


嘿嘿，当然能了，Zeiss的二次电子探测器就可以只看二次电子啊，具体什么原理还要请大虾明示，我去找只笔记下来学习学习！高能过滤？自己瞎猜不要见笑！
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2007/8/14 10:35:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
首先说明一下，我是新手，正在学习阶段，说错的麻烦毫不客气的指出啊:)

二次电子的产率主要只跟样品的表面形貌有关吧，所以用二次电子像来表征形貌；SEM里的各种探头中，只有二次电子探头能够主动的吸附二次电子，其他几种探头都是被动的吧；另外背散射探头的位置比较特殊，因为背散射电子本身方向是比较特殊的，而二次电子在各个方向都会有。
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2007/8/15 15:46:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 amoslau 发表:
原文由 RENXIN 发表:
再请问为什么二次电子检测器会探测到背散射电子呢，如果这个问题您不屑回答的话，请问是否有可能二次电子检测器只看二次电子，背散射电子检测器只看背散射电子呢。


嘿嘿，当然能了，Zeiss的二次电子探测器就可以只看二次电子啊，具体什么原理还要请大虾明示，我去找只笔记下来学习学习！高能过滤？自己瞎猜不要见笑！


猜对了一半。
能量过滤装置使  背散射探头只看背散射电子。
静电透镜设计使得二次电子探头只关心真正的二次电子， 产生纯二次电子像。
低端的二次电子探头其实是 ET探头， EVERHART 和 THOELEY 先生的发明，以讹传讹， 不知道怎么就叫成  二次电子探头了。
不得不承认这一点FEI做得很好， ET探头叫ETD，不叫SED。
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2007/8/16 12:35:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 RENXIN 发表:

猜对了一半。
能量过滤装置使  背散射探头只看背散射电子。
静电透镜设计使得二次电子探头只关心真正的二次电子， 产生纯二次电子像。
低端的二次电子探头其实是 ET探头， EVERHART 和 THOELEY 先生的发明，以讹传讹， 不知道怎么就叫成  二次电子探头了。
不得不承认这一点FEI做得很好， ET探头叫ETD，不叫SED。


静电透镜？Zeiss不是磁透镜么？难道是静电偏转物镜？ULTRA 60也标配ET探头啊！您是说In-lens能产生比较“纯”的SEI吧？
EVERHART和THOELEY共同改进（加上了10Kv的偏压）了“电子探测器”，后来有了背散射探头，相对BSD探头而言ET探头能够更多的采集到二次电子信号，因此大家都称之为二次电子探头。
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