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主题：【求助】薄膜样品的断面的观察

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radisher
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发表于：2008/06/19 17:44:13 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果做薄膜样品断面的扫描电镜,该怎么制样呀,厚度大概在几百个微米,上面涂了3层.谢谢!!!!
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2011/11/20 7:24:20 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我真的不知道。
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tomorrow_oneday
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2011/11/21 18:22:45 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
包埋。然后切。
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tedyli2007
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2011/11/23 10:54:22 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
二氧化硅、晶元一类比较脆的衬底样品可以使用裂片的办法直接做断面，如果PCB、FPC或者质地软的可以树脂包埋再抛光
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