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主题：【讨论】ZEISS SEM 机械泵换油问题

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saj
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发表于：2009/06/29 11:21:41 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
以前听说过换油后油被倒抽污染SEM,有点怕．不知换油时该注意什么？自己做法为：直接将泵旧油倒出，再加入新油，是否就可开SEM正常使用？望高人指点，不胜感激。
机械泵为：Alcatel, PASCAL 2010I型；油雾过滤器为OME25Hp+；
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2009/6/29 11:29:24 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
倒抽油的事件，我只听说过一次。循环水出故障，不Cooling了，结果温度升老高，油被倒抽进了镜筒
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saj
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2009/6/29 11:33:33 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那就是说只有用循环水冷却的SEM才有可能会发生倒抽油，其他用空冷的SEM不会发生倒抽油？
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bossvip
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2009/6/29 19:52:51 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 saj 发表:
那就是说只有用循环水冷却的SEM才有可能会发生倒抽油，其他用空冷的SEM不会发生倒抽油？

-------------------------------------------------------------------
倒油跟使用循环冷却水是没有任何必然联系的。
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2009/6/29 20:30:05 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sem1233 发表:
倒抽油的事件，我只听说过一次。循环水出故障，不Cooling了，结果温度升老高，油被倒抽进了镜筒

循环水不cooling，是不会出现机械泵倒抽油的
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dongjia1982
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2009/6/30 13:17:11 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
?????
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Last edit by dongjia1982
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2009/7/13 9:20:40 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xcz111 发表:
原文由 sem1233 发表:
倒抽油的事件，我只听说过一次。循环水出故障，不Cooling了，结果温度升老高，油被倒抽进了镜筒

循环水不cooling，是不会出现机械泵倒抽油的
倒抽油油哪些情况呢？
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junhe09
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2009/7/15 17:26:51 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不要太担心，只要注意先把chamber充气后再关机，然后再换油
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