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主题：【原创】请问“电子束曝光机”是指电子显微镜吗？

浏览0 回复13 电梯直达
asting
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发表于：2009/02/25 11:09:34 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，近日见到一个名词电子束曝光机，与网上查询相关中文资料很少，不知道是否属于电子显微镜，请专家给点指示,谢谢了！
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drizzlemiao
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2009/2/25 15:14:58 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不是。估计类似半导体行业的光刻机？
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RENXIN
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2009/2/26 10:55:18 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 asting 发表:
如题，近日见到一个名词电子束曝光机，与网上查询相关中文资料很少，不知道是否属于电子显微镜，请专家给点指示,谢谢了！

您说的对，这是属于扫描电镜的专项应用，电子镜筒中嵌入了工业级别的高频偏转线圈，就像一架可以控制曝光时间，快门速度和光圈大小的电子束成像系统。
多用于半导体行业的光刻。
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schokolade38
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2009/3/2 20:25:13 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 RENXIN 发表:
原文由 asting 发表:
如题，近日见到一个名词电子束曝光机，与网上查询相关中文资料很少，不知道是否属于电子显微镜，请专家给点指示,谢谢了！

您说的对，这是属于扫描电镜的专项应用，电子镜筒中嵌入了工业级别的高频偏转线圈，就像一架可以控制曝光时间，快门速度和光圈大小的电子束成像系统。
多用于半导体行业的光刻。

可以加装附件后 借鸡下蛋。。。。
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annelugel
annelugel
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2009/3/5 17:28:59 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习了^-^
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s30kaiyang
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2009/4/17 15:24:31 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
中科院电工所有自己研制的实验级电子束曝光机，我现在代理该产品，如有需要和我联系，13552760111杨凯。
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bairen828
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2009/4/18 18:35:01 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 schokolade38 发表:
原文由 RENXIN 发表:
原文由 asting 发表:
如题，近日见到一个名词电子束曝光机，与网上查询相关中文资料很少，不知道是否属于电子显微镜，请专家给点指示,谢谢了！

您说的对，这是属于扫描电镜的专项应用，电子镜筒中嵌入了工业级别的高频偏转线圈，就像一架可以控制曝光时间，快门速度和光圈大小的电子束成像系统。
多用于半导体行业的光刻。

可以加装附件后 借鸡下蛋。。。。

这个需要电镜硬件的支持！
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驰奔
srd2009
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2009/5/23 8:04:30 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有产业化的任何高技术都是空中楼阁
-
中国的大规模集成电路装备基本都是进口二手的，国内还能发展吗？
国内科研院所购买电子束曝光机也只能停留在实验室小打小闹一番，有些科研人员也如此自嘲。
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wildonkey
wildonkey
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2009/5/23 18:56:59 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
工业级别的电子束曝光机JEOL做的最好，电压是百KV以上的，穿透力高，曝光速度快，线宽小，效果是基于SEM改装的EBL所达不到的
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thb2520
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2009/6/5 17:16:10 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wildonkey 发表:
工业级别的电子束曝光机JEOL做的最好，电压是百KV以上的，穿透力高，曝光速度快，线宽小，效果是基于SEM改装的EBL所达不到的

非常赞同，国内高校实验室大部分采用的还是利用SEM改装的电子束曝光机。
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六脉神剑
quanbaogang
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2009/6/8 17:02:21 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看来大家还是有人知道EBL的，中国的科研还是有希望的
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手机版： 【原创】请问“电子束曝光机”是指电子显微镜吗？
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