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主题：【求助】SEM 能用来标定外延膜的厚度么？

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btvipvip
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发表于：2009/09/27 10:36:45 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教各位大侠，SEM能用来标定异质外延膜的厚度么?外延膜大概40nm左右,衬低375微米,SEM能分辨出不同的物质么,象TEM不同的物质颜色不一样,或者还是得打能谱?一般的SEM分辨率能有多少?能谱束斑多大?急切等待各位大侠赐教!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
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2009/9/27 21:22:50 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 btvipvip 发表:
请教各位大侠，SEM能用来标定异质外延膜的厚度么?外延膜大概40nm左右,衬低375微米,SEM能分辨出不同的物质么,象TEM不同的物质颜色不一样,或者还是得打能谱?一般的SEM分辨率能有多少?能谱束斑多大?急切等待各位大侠赐教!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

应该可以相对准确的测量，不知道你能够允许的误差有多大？如果不关心形貌，据我了解x-ray能谱仪具有测厚软件，能够同时准确测量纳米尺度的多层不同材质的厚度，测试速度快。
请参考。
http://www.sic.ac.cn/selfweb/ketizu/lixiaoming/research.htm
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春天的桃子
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2009/9/28 12:59:38 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 btvipvip 发表:
请教各位大侠，SEM能用来标定异质外延膜的厚度么?外延膜大概40nm左右,衬低375微米,SEM能分辨出不同的物质么,象TEM不同的物质颜色不一样,或者还是得打能谱?一般的SEM分辨率能有多少?能谱束斑多大?急切等待各位大侠赐教!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

是可以做的．样品最好导电．40nm是可以看到的，不知道你用的是什么电镜，因电镜而异．一般像日本电子的可以在１０个nm左右，飞利普在１个nm以下可以看到，要看ＳＥＭ具体的型号
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btvipvip
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2009/9/28 15:26:25 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那再问下您x-ray能谱仪,物理所应该有吧,一般这种测试一小时多少钱?
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驰奔
srd2009
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2009/9/29 9:04:07 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 btvipvip 发表:
那再问下您x-ray能谱仪,物理所应该有吧,一般这种测试一小时多少钱?

有按照小时收费的，也有按照样品收费的。你需要用场发射扫描电镜，可能得贵得多。
一般钨灯丝100元/样品。
因为都是事业单位，不盈利，因此价格比较便宜。
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sky12345678
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2009/10/7 12:16:14 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以，但是要注意1.样品最好导电，2.能做出整齐的断面，3.使用高分辨SEM，4.在电镜下能区分外延膜和基底。
一次做不出来不要灰心，多试几次。
祝你幸运
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rainflying666
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2009/10/7 18:05:05 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sky12345678 发表:
可以，但是要注意1.样品最好导电，2.能做出整齐的断面，3.使用高分辨SEM，4.在电镜下能区分外延膜和基底。
一次做不出来不要灰心，多试几次。
祝你幸运


我觉得也是啊，能在电镜下区分出外延膜和基底应该是可以的
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golf
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2009/10/9 19:14:27 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要用好的制样设备如FIB和好的电镜才可以。
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