仪器
X射线荧光分析仪主要由激发、色散(波长和能量色散)、探测、记录和测量以及数据处理等部分组成。X射线光谱仪与X射线能谱仪两类分析仪器有其相似之处,但在色散和探测方法上却完全不同。在激发源和测量装置的要求上,两类仪器也有显著的区别。
X射线荧光分析仪按其性能和应用范围,可分为实验室用的X射线荧光光谱仪和能谱仪、小型便携式X射线荧光分析仪及工业上的专用仪器。
X射线荧光光谱仪 : 实验室用的X射线荧光光谱仪的结构见图1 。由X射线管
![]()
发射出来的原级X射线经过滤光片投射到样品上,样品随即产生荧光X射线,并和原级X射线在样品上的散射线一起,通过光阑、吸收器(可对任何波长的X射线按整数比限制进入初级准直器的 X射线量)和初级准直器(索勒狭缝),然后以平行光束投射到分析晶体上。入射的荧光 X射线在分析晶体上按布喇格定律衍射,衍射线和晶体的散射线一起,通过次级准直器(索勒狭缝)进入探测器,在探测器中进行光电转换,所产生的电脉冲经过放大器和脉冲幅度分析器后,即可供测量和进行数据处理用。对于不同波长的标识X射线,通过测角器以1:2的速度转动分析晶体和探测器,即可在不同的布喇格角位置上测得不同波长的X射线而作元素的定性分析。
在定量分析中,经过定标器的信号脉冲(分析线强度),可以直接输入电子计算机,进行联机处理而读取分析元素的含量,也可从定标器上读取分析线的强度,然后进行脱机处理。在定性分析中,经过脉冲幅度分析器的信号,可以直接输入计数率计,通过记录器笔录下来,进行定性或半定量分析。在作近似定量分析时,也可以通过数据处理机进行。
X 射线荧光能谱仪 : 这种仪器只须采用小型激发源(如放射性同位素和小型 X射线管等)、半导体探测器〔如硅(锂)探测器〕、放大器和多道脉冲幅度分析器,就可以对能量范围很宽的X射线谱同时进行能量分辨(定性分析)和定量测定(图2 )。而且,由于无需分光系统,样品可以紧靠着探测器,光程大大缩短,X射线探测的几何效率可提高2~3个数量级,因而灵敏度大大提高,对激发源的强度要求则相应降低。所以,整个谱仪的结构要比波长色散谱仪简单得多。
作为激发源的X射线管,其发射的X射线既可以在通过滤光片后直接激发样品,还可以由激发次级靶,利用便于随意选择的靶材发射出来的标识线经过滤光片后去激发待测的样品,这可以大
![]()
大提高分析线与本底的对比度,对少量或痕量元素的测定特别有利。
X射线荧光能谱仪的缺点是较适合于高能X射线的探测,对于能量小于2万电子伏左右的能谱,其分辨率不如波长色散仪器好,而且随着X射线能量的下降,其缺点越加突出,同时,探测器和场效应管必须配以冷却装置。
如上所述,X射线荧光光谱仪和X射线荧光能谱仪各有优缺点。就目前而论,实验室中使用X射线光谱仪的仍然居多。尽管仪器的结构较为复杂,一次投资费用较大,但由于它对轻、重元素测定的适应性更广,对高、低含量的元素测定灵敏度也符合各主要产业部门和科学研究的需要,因此它仍有很大的发展可能。同时,在物质的化学态研究方面,由于X射线分光计的开发较早,分辨率高和灵活多样,例如有半聚焦和全聚焦弯晶分光计、双晶分光计以及光栅分光计等。几十年来在 X射线精细结构研究中,X射线光谱法一直处于独占地位;尤其是随着超长波 X射线波段的不断开拓和同步辐射源的推广应用,X射线荧光光谱仪的发展更具有广阔前途。