春天的桃子回复于2011/05/04
冷场和热场得区别:
冷场发射式最大的优点为电子束直径最小,亮度最高,因此影像分辨率最优。能量散布最小,故能改善在低电压操作的效果。为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,并使发射电流不稳定,冷场发射式电子枪必需在10-10 torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing),以去除所吸附的气体原子。它的另一缺点是发射的总电
流最小。
热场发式电子枪是在1800K温度下操作,避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面,所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度,并能在较差的真空度下(10-9 torr)操作。虽然亮度与冷式相类似,但其电子能量散布却比冷式大3~5倍,影像分辨率较差,通常较不常使用。
linzq回复于2011/05/21
为什么说热场的分辨能力做不过冷场呢?问题就在于它的长项束流大。
束流越大束斑面积越大。虽然仪器的分辨能力不是由一个因素决定的,但是这个是几个重要因素之一。而且也是几个具有决定因素的原因之一。
目前看蔡司的SUPRA55要比FEI(nano)的分辨能力强就是55的束流只有20NA而FEI的束流在100NA。
所谓的麦泽伦高分辨结果,最重要的一项也就是降束流(所谓的单色器)。这在冷场不是问题而在这里却要花大价钱来解决。很不值
所以说热场的高分辨只有向低束流来要,可是由于它的真空要求比较低,且镜筒设计是按照高束流来的,所以不管怎样改都不会比冷场强。
原文由 无机麦地(shuiyang88) 发表:
5、电子束流是大好还是小好? 电子束流 最高可达 100nA
6、光阑的作用是什么? 光栏选择 6 孔光栏,高精度点击选择
电子束流根据参数来说是越大比较好,但是电子束流是轰击物质表面的,只要能量合适,能把样品表面的原子轰击出来就行,所以电子束流大小的选择还是与大部分样品有关,并不是越大或者越小好。
光阑,在仪器参数那里应该是写错了吧
光具组件中光学元件的边缘、框架或特别设置的带孔屏障称为光阑。所以我认为光阑是调节电子束流大小的工具,选择性的只让一部分电子束流通过。
实际上我并不清楚光阑是否可调?如果可调那么应该电子束流的大小就应该由它来调节。
原文由 春天的桃子(dct1983) 发表:
冷场和热场得区别:
冷场发射式最大的优点为电子束直径最小,亮度最高,因此影像分辨率最优。能量散布最小,故能改善在低电压操作的效果。为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,并使发射电流不稳定,冷场发射式电子枪必需在10-10 torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing),以去除所吸附的气体原子。它的另一缺点是发射的总电
流最小。
热场发式电子枪是在1800K温度下操作,避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面,所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度,并能在较差的真空度下(10-9 torr)操作。虽然亮度与冷式相类似,但其电子能量散布却比冷式大3~5倍,影像分辨率较差,通常较不常使用。