主题：【第六届原创】超低加速电压才是王道~SBA-15分子筛观察条件筛选

硅氧材料的SBA-15分子筛是近年来做得比较多的样品，样品表面细节非常丰富，坑道和孔径也不算太小，所以经常用作检验SEM的分辨能力。昨天给电镜做了一次大合轴，正好检验一下合完轴的效果，顺便和大家分享一下，一般碰到这样的样品，该如何改变参数条件。

因为场发射SEM往往以低加速电压下的高分辨见长，并且SBA-15这样的样品细节都在表面，因此开把加速电压选择了1.5kV。



很显然，1.5kV的加速电压对于SBA-15而言还是太高了，表面细节都被深层信号掩盖掉。因此，第二轮换成1.0kV。



感觉表面细节清晰多了。但是加速电压越低，色差对分辨力造成的影响就越大。因此，第三轮开启减速场，着陆电压1.0kV。



同样是1.0kV的穿透深度，5.0kV的加速电压分辨力硬是比1.0kV有显著的提高~而且，由于边缘效应的降低，样品的轮廓更清楚，立体感也有所增强。说到降低边缘效应，于是在该条件下，第四轮实验，开启CBS探头。



这下不管从信噪比，还是空间立体感，都有明显的改善。因此，对于SBA-15类样品，1.0kV+电子束减速+掺入背散射电子信号，将使图像不仅在信噪比还是细节显现度，还有空间立体感方面，都有一个非常平衡的展示。

当然实验永无止境。第五轮，采用更低的着陆电压，0.5kV，开启减速场，分别使用TLD探头和CBS探头成像，纯属检验仪器的性能。



由此可见，0.5kV着陆电压下，图像的实体感更强，而且分辨力和信噪比都处于可以接受的状态。因此“0.5kV+电子束减速+掺入背散射电子信号”这组参数，对于发好文章或者想练手的操作员而言，也是非常重要且非常理想的。

而且，如果运气够好，拍到正面孔道，就更爽了~



另外需要说明的是，本次试验由于样品制备和固定都非常的仔细，整个测试流程全部处于安静可控状态，因此基本可以排除由于样品抖动造成的图像失真。

抛砖引玉，供大家交流参考~

特别感谢：

复旦大学先进材料实验室，复旦大学化学系

提供样品。

补充：兄弟帖，《和Helios 650 (Magellan) 的部分比较》已生成，大家有兴趣的话可以顺便过去看看~

http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20130108/4501126/