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主题：【讨论】FIB 和 SEM+离子束抛光设备

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aloumina
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发表于：2013/04/11 14:02:55 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FIB用于截面观察的优势是能够对特定微区进行分析，但是缺点是观察区域较小，最大不超过10μm。

用离子束抛光+SEM进行观察是不是在很大程度上可以替代FIB的功能呢。
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asahi42
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2013/4/11 16:47:38 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
话是这么说没错，但是FIB在切割位点的精度上是ion milling+SEM所不能达到的。所以选择哪一种加工方法，完全取决于实验人员和样品要求什么样的加工精度。
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aloumina
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2013/4/12 13:20:35 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FIB的优势在于定位分析，但是通常在切开之前是不知道缺陷在哪的吧，那要怎么办 一层一层的切？ 我没用过FIB，还请赐教
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gao007007
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2013/4/13 23:36:50 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FIB加工的精确性更好，但加工面积小，需要专业人员在场操作，仪器价格贵。
氩离子抛光加SEM，更适合对加工区域在至少一个方向上没有确定位置的样品，如加工均匀的多层膜观察截面，加工面积大，操作简单，加工过程不需要人守在旁边，价格是FIB的几分之一。
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reinash
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2015/1/5 13:14:35 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
盛美半导体设备（上海）有限公司
新进一台FEI Helios 660 Nanolab
可以承接各类FIB，微结构加工，TEM制样，电路修补，EDX，EBSD，STEM与SEM服务。
联系人，贾兆伟，13774251566，zhaowei.jia@acmrcsh.com。
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SevenYUI
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2017/1/18 10:40:54 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
金鉴检测， 同时有fib和氩离子抛光， 需要效果图或委外测试可以联系我 181 3872 9186
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p3156028
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2018/9/17 18:12:57 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FIB 和氩离子抛光各有千秋，我有写过好多关于氩离子抛光和FIB制样的研究，严格来说，真的是各有各好，两者还可以搭配使用的。
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