主题:【已应助】分子泵抽真空关掉后真空度下降

浏览0 回复19 电梯直达
Insm_fb79b6d8
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分子泵抽真到10-5关掉后腔体真空度下降,这种情况不正常吧?质谱仪没检出来有漏的地方
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通标小菜鸟
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请问下降了多少,调谐一下看看有没有问题,有时候有点微漏是看不出来的
hujiangtao
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深蓝
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“质谱仪没检出来有漏的地方”,这个是怎么操作的?怎么证明的?
sdlzkw007
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温哥
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你分子泵都关了,怎么保证高真空度??只有机械泵工作当然会掉回去机械泵的最大限度啊,你的柱子一直有气体进入质谱啊,为何要关掉分子泵呢??检查漏不漏气的方法是要看水氧氮三个峰,而不是关掉泵,晕
雾非雾
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真空泵停了之后,真空是缓慢下降的(比如突然停电后,真空腔门一时是打不开的,印象里不动它可以维持一两天),如果迅速下降那是有哪地方漏气的。
JOE HUI
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Insm_fb79b6d8
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原文由 雾非雾(mcds) 发表:真空泵停了之后,真空是缓慢下降的(比如突然停电后,真空腔门一时是打不开的,印象里不动它可以维持一两天),如果迅速下降那是有哪地方漏气的。
不是迅速,大约15分钟真空度从-5到150pa了
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原文由 雾非雾(mcds) 发表:真空泵停了之后,真空是缓慢下降的(比如突然停电后,真空腔门一时是打不开的,印象里不动它可以维持一两天),如果迅速下降那是有哪地方漏气的。
不是迅速,从-5大约15分钟就掉到150pa
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原文由 深蓝(mitsumi) 发表:“质谱仪没检出来有漏的地方”,这个是怎么操作的?怎么证明的?
用喷枪法试的
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