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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【悬赏帖】各位SEM大神, 看看这张神奇的SEM, 该如何解释这种现象?

浏览0 回复7 电梯直达
iangie
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发表于：2019/01/20 10:09:27 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：100积分 状态： 已解决
这张SEM二次电子成像的样品里面看到了SEM它自己......不但主轴看得清楚, SE探测器, EDS探测器, 还有腔门都看得一清二楚.
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v2942222
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2019/1/20 12:56:47 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
把你
semcontrol的参数截屏上来看看。
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小M
mitchell_dyzy
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2019/1/20 14:16:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
以前有过讨论
原因是样品处严重荷电，相当于一个电子发射源，将样品室里的信号都送到探头里去了
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2019/1/20 15:33:49 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2019/1/21 20:14:29 Last edit by mitchell_dyzy
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2019/1/21 20:13:38 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2019/1/21 20:14:07 Last edit by mitchell_dyzy
iangie
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2019/1/26 18:03:55 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tigerlt(tigerlt) 发表:
这个是典型的样品表面荷电像。你的机器型号应该是Nova NanoSEM230。你可以随便找个不导电样品试试，先用高电压大束斑照一段时间然后切换到低电压，马上就可以看到类似的现象，称为阴极透镜现象，在任何电镜上都可以看到。我怀疑你样品没粘好，接地不充分。你可以这样检查，10千伏到5千伏，出现上述现象，再切换到15千伏就会消失。原理大概如下：10千伏照射导致样品表面荷负电大约6千伏，切换到5千伏，入射电子会被全部发射回去，打到极靴上和样品室内壁而产生二次电子像。当你用7千伏电压可以部分克服表面电场，形成第二张图像。由于有的样品导电性差，表面荷电可以驻留很久。
这个解释言简意赅
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fengyonghe
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2019/1/28 4:04:54 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 iangie(iangie) 发表:
原文由 tigerlt(tigerlt) 发表:
这个是典型的样品表面荷电像。你的机器型号应该是Nova NanoSEM230。你可以随便找个不导电样品试试，先用高电压大束斑照一段时间然后切换到低电压，马上就可以看到类似的现象，称为阴极透镜现象，在任何电镜上都可以看到。我怀疑你样品没粘好，接地不充分。你可以这样检查，10千伏到5千伏，出现上述现象，再切换到15千伏就会消失。原理大概如下：10千伏照射导致样品表面荷负电大约6千伏，切换到5千伏，入射电子会被全部发射回去，打到极靴上和样品室内壁而产生二次电子像。当你用7千伏电压可以部分克服表面电场，形成第二张图像。由于有的样品导电性差，表面荷电可以驻留很久。
这个解释言简意赅
非常精准的答案                                                                                                                                                                                                                                   
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hou1210
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2020/10/18 7:12:48 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习了，不错
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