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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】新手求助：如何使这样的SEM图片调得能够看清精细结构

浏览0 回复9 电梯直达

李奎明

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发表于：2019/05/16 15:06:46 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

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2019/5/16 15:28:41 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你好，可以在仪课通购买学习SEM系列课程，包含拍摄图片过程中，常见问题的原理性解释和解决办法，及参数调节过程中需遵循的方式方法等，详情见：https://www.instrument.com.cn/ykt/course/course/detail?sid=294

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UNM

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2019/5/16 15:31:03 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

这个是什么电镜呢？
第一个建议，你的电压20kv可能太高了，你可以试下低电压，比如试下10或者5kv.
第二个是可以喷金增加导电性
第三点就是按正常操作，调下像散和电子枪对中。

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小M

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2019/5/16 16:12:13 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

调节亮度、对比度、聚焦、对中（合轴）、象散等。另外，场发射比钨灯丝的分辨率要好。

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EManalysis

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2019/5/16 19:33:53 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

看清精细结构也就是要提高分辨率，通常加速电压越高、工作距离越短、光阑孔径越小、束斑尺寸越小，图像分辨率越高。楼主的照片，工作距离11mm可以再适当减小，加速电压20kV虽然能提高分辨率，但对于图片中的样品，可能会增加荷电和减少表面细节，日立电镜可以在较低的加速电压下获得较高的分辨率，同时获得更好的表面细节形貌，不妨用5kV试试。

天美工程师