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主题：【已应助】SEM尺寸测量原理

浏览0 回复3 电梯直达
huangtao0307
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发表于：2021/09/04 15:42:45 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哪位大神可以科谱一下SEM尺寸测量原理？
金相显微镜是固定放大倍率下通过采集像素多少定标。
但SEM并没有这样的操作，软件是如何实际任意放大倍率下量测的？？
推荐答案：SEMDriver回复于2021/09/05
设备会用标样校准特定条件，其他条件都是通过计算补偿
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SEMDriver
Insm_5225054a
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2021/9/5 9:58:46 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
设备会用标样校准特定条件，其他条件都是通过计算补偿
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hmzhou83
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2021/9/5 11:31:21 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:设备会用标样校准特定条件，其他条件都是通过计算补偿
是的，应该是通过标样校准的。
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dahua1981
dahua1981
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2021/9/6 20:28:59 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
CD SEM和普通的SEM没有本质区别。
附件：
基于CD_SEM的线距标准样片测量_冯亚南.pdf
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