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主题：【求助】求教？我用的扫描电镜真空抽不好？还有一个问题是电炉的指示灯打到自动不亮，得重复好几次才行

浏览0 回复4 电梯直达
nuterlover
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发表于：2007/10/09 10:22:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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huangtao0307
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2007/10/9 23:25:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是SEM吗？那个有一个控制真空的阀门的，不过我们自己不能调我上次是请厂商过来调的，第一次开机就是这样很慢的
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RENXIN
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2007/10/10 16:04:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 huangtao0307 发表:
是SEM吗？那个有一个控制真空的阀门的，不过我们自己不能调我上次是请厂商过来调的，第一次开机就是这样很慢的

油扩散泵的问题是阀门多，油的种类必须和泵配套，还有污染问题。
分子泵就好多了。
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lp1123
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2007/10/10 20:57:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是有哪里漏气啊
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ssl_0801263
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2007/10/10 21:09:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是开关接触不好?用万用表检测一下就知道!真空不好的话可能是系统有地方有微漏现象,需要查漏,却定漏点!
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