主题:【求助】离子溅射仪用的金靶厚度能否加大?

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xmxl
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如题,仪器自带金靶的规格是0.1mm(厚)*57mm(直径)
因为不耐用,要换新的金靶,我想加大厚度到0.2mm或0.3mm,不知道是否可行?
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guolieyang
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原文由 xmxl 发表:
如题,仪器自带金靶的规格是0.1mm(厚)*57mm(直径)
因为不耐用,要换新的金靶,我想加大厚度到0.2mm或0.3mm,不知道是否可行?


可以
wildonkey
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驰奔
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加大加厚意味着成本成倍大幅增加,而效益却不见得!
semuser
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有贵金属加工能力的话最好加工一个厚的,成本比买金靶合算。
yibanqianshui
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medodo
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原文由 xmxl 发表:
如题,仪器自带金靶的规格是0.1mm(厚)*57mm(直径)
因为不耐用,要换新的金靶,我想加大厚度到0.2mm或0.3mm,不知道是否可行?


问一下,这个0.1mm(厚)*57mm(直径)大约可用多少时间
jbli
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cofruit
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请问,京津附近地区有可以加工金靶的吗?有联系方式的请告知一二,谢谢!
chenxj1606
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原文由 cofruit(cofruit) 发表:
请问,京津附近地区有可以加工金靶的吗?有联系方式的请告知一二,谢谢!

中诺新材(北京)科技有限公司 www.znxc.cn  010-52860970。 本人用过两块,纯度99.99%,规格58*0.12mm,感觉还可以。
还有就是有色院,做的应该比较专业。
小M
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加厚一点能够久一些击穿,但是浪费不就更多了吗?一般是中间的位置容易击穿,周围没有击穿的位置,都还可以熔了再合成新的金靶吧!