主题:【求助】请教薄膜材料XRD的测试方法

浏览0 回复7 电梯直达
firefall
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我最近在用 Rigaku 2000 来测试薄膜,我只知道要固定2theta角 转动theta角来测试。因为说明书和菜单是日文的,不知道从哪儿输入固定的2theta 角值 捣鼓了半天就是没明白,测试峰也出不来。

请老师,师兄们帮帮忙,给小弟指点指点,不胜感激!!

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mingmingtao
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我们是荷兰帕纳科公司的x pert pro,我怎么觉得是固定theta而变化2theta呢。
我经常测薄膜都是这样的啊,号称略射吧。
orangeowl
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我使用普析通用的XD-2,测定玻璃基体镀层,采用掠入射的方法(配备平行光薄膜附件)进行测定。具体测定步骤:
首先得到常规谱图,得到样品的衍射谱图Ⅰ;掠入射得到谱图:固定入射角(θ)为很小的角度(一般小于4度),单独检测器(2θ)扫描,得到衍射谱图Ⅱ;将此谱图Ⅰ与谱图Ⅱ相比较,采用掠入射方法后,谱图Ⅱ中玻璃基体衍射峰基本没有了
XRD
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1 选择扫描方式为2Theta(平时都是Theta/2Theat)
2 Condition 页面里,按一下页面下的向右箭头,看到第2页,有一项是Fixed angle,输入5.
3楼主弄错了,3楼说得对,是Theat不动,保持5度,只转动2Theta.
可人
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请问各位要是薄膜师纳米级的话,测得的衍射峰是不是很弱啊?
这样就很难确定这个衍射峰对应的物相了,很是郁闷,请问比较有经验的做法!
ygqustc
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slower
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如果薄膜是纳米级的,说明薄膜在结晶时形成的团聚,也就是晶粒是纳米级的,用谢乐公式解释的话,晶粒尺寸是与衍射峰的半高宽成反比的,纳米级的材料所对应的衍射峰应该是比较尖锐的,衍射峰的强弱应该与材料本身的结晶程度有关,而与晶粒尺寸无关。
firefall
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谢谢大家的指导,问题已经基本解决,小弟是新手,以后还请各位师兄和师姐多多帮助,在此感谢大家,请版主结帖。
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