退火前
退火后做的Co薄膜,基底单晶Si(100),衍射峰很少,可能的物质就是Co,Co2Si,CoSi2,Si等,不过不知道怎么确定。
退火前衍射峰的信息
2Theat d 峰高 峰高百分比
1 10.989 8.0448 40 999
2 42.098 2.1446 1 24
3 44.227 2.0462 1 24
4 56.018 1.6402 17 424
5 75.588 1.2569 1 24
退火后
1 19.098 4.6434 73 999
2 31.326 2.8531 28 383
3 36.908 2.4334 56 766
4 43.408 2.0829 11 150
5 59.621 1.5494 9 123
6 65.294 1.4279 42 574
烦劳各位高人指点!!