主题：【求助】XPS仪器选择

一般来说有XPS的厂家主要是两家VG和费公司
其他的都是摆设
我对费公司的仪器不太熟悉
但是我们这里的人曾经调研
结论是：VG的适合搞科研
费公司的是做测试用的

对了
我记得你参数主要是灵敏度真空度这些
你如果要详细的我可以给你查查

原文由 feixiong5134 发表:
对了
我记得你参数主要是灵敏度真空度这些
你如果要详细的我可以给你查查

版主，那就麻烦你帮我查查这些参数了，版主的帮助实在太有用了。

多谢！

好的
有消息我告诉你
不用客气

我也碰到了相同的情况,很希望能尽快看到斑竹的回复哦

我查了一下
真空度：2*10-8mbar 和2*10-8mbar
分辨率：0.82eV（o=c-o）
主要是这两个
其他的不再我手头
不好意思
我给您的建议就是多去几个有相同仪器的地方转转
那样对你买仪器绝对有好处

谢过版主了。

结合版主的内容，我把我的初步调研结果和大家分享一下：

XPS只可以在高真空条件下操作，所以真空度的要求是考察仪器性能的一个重要参数，此外分辨率也是考察的一个重要因素（好像有好几个分辨率，不确定那个最重要：X射线枪灵敏度、空间分辨率spatial resolution）

XPS的厂家不少，好像目前国内市场可见的XPS主要有以下两个厂家：Shimadzu，VG（又称为Thermo VG Scientific）。其中Shimadzu的最新型号为Kratos Axis Ultra DLD, Kratos Analytical Co. 目前被岛津收购，所以成为了岛津的品牌；VG最新的型号为Thermo VG ESCA LAB 250 X射线能谱仪。看起来，似乎VG更加专业些。

1.2.    推荐仪器参数：
1.2.1.    真空系统
电子能谱仪需要超高真空。因为电子能谱仪式是一种表面分析仪器，若真空度不够高，则清洁的样品表面就很快被残余气体分子所覆盖，从而不能得到准确的分析结果。此外，光电子信号一般很弱，若和残余的气体分子碰撞可能难以检测到光电子。故电子能谱仪至少要求10－7～10－8 Pa的真空度，为了达到这么高的真空度，电子能谱仪的真空系统由机械泵、分子涡轮泵、离子溅射泵和钛升华泵组成。
1.2.2.    激发源
1.2.2.1.    X射线枪
XPS用X射线枪的靶级材料为Mg和Al，产生MgK和AlK射线。单色化铝Al，FWHM（半峰宽）0.48eV，能量比Mg高；灵敏度比非单色的Mg激发源（FWHM＝0.8eV）要高。X射线的缺点是不聚焦，所以束斑大，XPS只可以测某一区域内的元素组成，最适合测价态.

1.2.2.2.    电子枪
电子枪是AES的激发源。用磁透镜的电子枪，聚焦性能好，束斑小。AES(Auger Electron Spectroscopy)俄歇电子能谱可以测试到几个埃厚度内的信息，适合测某一点的元素组成，分辨率可达1.5nm，适合轻元素的分析，可以分析3～99号范围内的元素，Auger电子能谱在高真空下工作：可达10-9torr，即使对于信号较弱的元素也可测量。所以俄歇电子能谱若配合XPS附件使用的话，就可以同时准确地测点的元素组成以及化学价态。

1.2.3.    加热冷却
加热通过邻近样品附近的电阻加热装置实现的，加热温度可达150～250oC；制冷通过液氮可在四分钟内实现温度-140oC。

VG这几年做的不错
包括售后和仪器的维修
还有就是从今年开始VG进行每年一次的用户培训
邀请的都是这个领域的高人
像上月邀请的是中科大的麻老师。大连化物所的盛老师。
而且基本每隔两年都有用户会
交流用户经验。
并且聘请中科大的三位老师作为软件工程师
解决用户在使用过程中的问题
一般一天之内就回答问题。
而且你如果自己做科研的话
还可以加原位池
这个是其他公司达不到要求的

还有就是你说的单色化的Al靶
他做出的谱图比较漂亮
现在很多地方都买ESCALAB250
你可以打听打听

VG的产品是不错，就是价格高了一些，让人很郁闷。