主题:测量含量为2PPB~10PPM气体中水分的方法

浏览0 回复66 电梯直达
独钓寒江雪
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希望厂家技术人员多发实用操作手册、维护手册、测量原理和过程、图解操作手册或使用注意事项和故障判断和处理,只有你教会别人理解和使用你的仪器,别人才会去购买你的仪器,特别是注意事项和故障判断和处理方面
quest-tech
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原文由 chengjingbao 发表:
原文由 quest-tech 发表:
谢谢斑竹,发一份以前我给客户翻译的中文操作手册,供大家交流。由于测量的下限很低,所以就对管路要求很严格,建议选用电抛光(EP)管,并且管路中的阀门和减压器也均选用电抛光(EP)级的,为什么都选用电抛光(EP)呢?这是因为气体中的水分本身的特性很具有附着性,这样普通管路很难吹扫,或者吹扫到PPB级的时候需要花费很长时间。就好比一件衣服放到水里马上就湿,但是想让一件湿衣服变干却要花费很长时间一样,这是水分特性决定的。我有一些客户就是以前很少接触过高纯气体,在安装调试仪器的时候,我们建议选用的一些管路他们不采用,就用普通的不锈钢管和阀门件,结果仪器总是达不到要求,最后他们从日本客户那里借用了一套管路,一次就通过。所以管路在到这个级别的时候非常重要。
另外,在进入仪器的接口处加装0.003um的颗粒过滤器,这样可以避免气体中的颗粒物污染仪器内部光学元件,因为,如果仪器内部受到颗粒物污染的话只能发送到美国原厂进行内部清洗,这样运费和事件往往不能被用户接受。 我们的一个客户林德就遇到过。这些都是经验教训。


很高兴与你交流,手册没发上来。抛光管我已想到,如果不用此管,做如此低PPB含量无疑是天方夜谭,这样说来,管路、接头、阀门组件就应全部采用此要求。气体与材质的附着性,应该是低含量的一大影响因素。
至于说到颗粒过滤器,这么低,也就意味着产生的气阻也会很大,前段压力会很大,是否有稳压阀。后段气流大,泄压快,测量时流速波动大,若无后段阻尼管或缓冲管,测量数值的稳定如何保证?通常光谱分析对流速要求较高。难道激光例外。个人观点。


斑竹说的很对,增加过滤器后当然会有压力衰减,但是由于这种激光原理水分仪需要的气源流量仅为1slpm(标准升/分钟),我用过的几种颗粒过滤器的在这种流量时的压降大概是1psig,此仪器需要入口压力为:10 - 125 psi (1.7 - 9.6 bar),所以影响很小,还有,在管路前段加一减压器,控制在仪器要求范围的60-80%左右,即使有压降也影响不大。

另外,管路中的连接方式应该均采用VCR方式连接,这样能保证很高的泄漏率!

LZ应该拍几张管路照片图,供大家参考!
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水分仪压力设置
气体采样管路入口处的压力必须在10-125 psig (1.7-9.6 bara)之间。在低于10psig时,所有气体的容量不能维持采样必需的流量。当压力高于125 psig可能对仪器内部的调压器造成损害
排空指导
如果可能,我们推荐您排空到大气压力。但是您也可能已经连接真空泵,如果排空管路是必需的,请按下面条件观察:
• 避免负压,排空管路必须由¼”管路组成。
• 排空管路的末端区域的压力不能与大气压力相差太大
• 仔细确保排空端压力不超过2 psig (1.15 bara)。 如果这样会造成排空管路有压力,最好在排空处加装截至阀避免回流进入采样腔内。
• 如果必须在采样管路出口处必须使用真空泵,HALO-H2O水分仪对压力的响应是不敏感的,但是,水分的传播却很敏感,因此,压力的波动将影响实际水分水平的测量结果。
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仪器的定期维护
1、为了使HALO-H2O精度最佳,推荐一个月运行一次调谐
Tune Cycle
调谐周期
非尖峰衰荡时间是通过一次调谐测的,在仪器最初安放后必须的。在仪器运送过程中,仪器腔体的线性有可能会有轻微的改变,通过运行调谐周期会自动补偿类似的改变。
我们推荐一个月运行一次调谐周期,使HALO-H2O的精确度始终保持最佳。只要可能,运行时使用最干的气体确定零点。应该在水分浓度改变100倍时重新运行一次调谐周期。
在操作模式下按TUNE键,开始一次调谐周期。当调谐周期完成后,会回到主窗口。
通常,为N2计算的零点方式可以用于He, H2, O2, HCl, Cl2, SF6或 Ar。但是HBr的零点必须独立运行,以确保准确。

2、光具座校准
产生噪音或者信号衰减的典型原因是光腔未对准,其引发的原因可能是频繁地搬动仪器或者是遭受了剧烈的震动。(仪器对于偶然的搬动移位是具有免疫力的),如果出现上述情况,请与Tiger Optics维修中心联系检查光腔组件的排列。污染问题经常难于鉴定,但是一旦发现相当容易阻止和消除。指纹,水滴,油雾(来自泵,等等),气体中的聚合物是污染光学元件主要来源。为了避免污染,当仪器不被使用时,应该通惰性气体吹扫或者密封仪器气体出,入口
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仪器的可能出现的故障指南
    情况          引起的可能原因                  解决方法
1、无显示,        仪器未供电                    检查保险丝及插头
2、读数超量程      样品气体水分超高                用干燥气体吹扫
3、读数持续降低    管路未稳定            先用干燥气体吹扫然后再通入
                                          样品气体,反复操作直到稳定
4、标气浓度读数不正确 气体种类不正确      气体选择页面选择正确的气体
5、读数有噪音      气体采样系统泄漏          对采样系统检漏
                  仪器光腔泄漏              按手册2-6 进行检漏
                  光学元件需要重新对正          请与原厂联系
6、衰荡报警      超出最大检测极限,水分过高    停止样品气体并且使用
                                                  干燥气体吹扫
                  光具座偏移、光电探测器失效      请与原厂联系
7、衰荡失败和        激光未运行                  请与原厂联系
激光电流显示失败
8、衰荡失败          温度控制器失效              请与原厂联系


chengjingbao
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原文由 hzhhqt 发表:
仪器的定期维护
1、为了使HALO-H2O精度最佳,推荐一个月运行一次调谐
Tune Cycle
调谐周期
非尖峰衰荡时间是通过一次调谐测的,在仪器最初安放后必须的。在仪器运送过程中,仪器腔体的线性有可能会有轻微的改变,通过运行调谐周期会自动补偿类似的改变。
我们推荐一个月运行一次调谐周期,使HALO-H2O的精确度始终保持最佳。只要可能,运行时使用最干的气体确定零点。应该在水分浓度改变100倍时重新运行一次调谐周期。
在操作模式下按TUNE键,开始一次调谐周期。当调谐周期完成后,会回到主窗口。
通常,为N2计算的零点方式可以用于He, H2, O2, HCl, Cl2, SF6或 Ar。但是HBr的零点必须独立运行,以确保准确。

2、光具座校准
产生噪音或者信号衰减的典型原因是光腔未对准,其引发的原因可能是频繁地搬动仪器或者是遭受了剧烈的震动。(仪器对于偶然的搬动移位是具有免疫力的),如果出现上述情况,请与Tiger Optics维修中心联系检查光腔组件的排列。污染问题经常难于鉴定,但是一旦发现相当容易阻止和消除。指纹,水滴,油雾(来自泵,等等),气体中的聚合物是污染光学元件主要来源。为了避免污染,当仪器不被使用时,应该通惰性气体吹扫或者密封仪器气体出,入口


这个仪器维护是翻译件吧!已经介绍的比较清楚啦,谢谢!
laidekeai
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东西的确很好,我们也有分析露点的,只是我们的露点值都是很高的。
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前天把纯化器再生了一下,重新测的高纯氮气中水的趋势图。量程范围0~20ppb
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chengjingbao
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蓝帽头是切换阀吗?是否是用于样品气旁路吹扫放空用的?还有一点,你用减压阀做稳压阀用,精度能保证吗?后段没看到你的流量计,所以才有此一问!
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