原文由 chengjingbao 发表:
原文由 quest-tech 发表:
谢谢斑竹,发一份以前我给客户翻译的中文操作手册,供大家交流。由于测量的下限很低,所以就对管路要求很严格,建议选用电抛光(EP)管,并且管路中的阀门和减压器也均选用电抛光(EP)级的,为什么都选用电抛光(EP)呢?这是因为气体中的水分本身的特性很具有附着性,这样普通管路很难吹扫,或者吹扫到PPB级的时候需要花费很长时间。就好比一件衣服放到水里马上就湿,但是想让一件湿衣服变干却要花费很长时间一样,这是水分特性决定的。我有一些客户就是以前很少接触过高纯气体,在安装调试仪器的时候,我们建议选用的一些管路他们不采用,就用普通的不锈钢管和阀门件,结果仪器总是达不到要求,最后他们从日本客户那里借用了一套管路,一次就通过。所以管路在到这个级别的时候非常重要。
另外,在进入仪器的接口处加装0.003um的颗粒过滤器,这样可以避免气体中的颗粒物污染仪器内部光学元件,因为,如果仪器内部受到颗粒物污染的话只能发送到美国原厂进行内部清洗,这样运费和事件往往不能被用户接受。 我们的一个客户林德就遇到过。这些都是经验教训。
很高兴与你交流,手册没发上来。抛光管我已想到,如果不用此管,做如此低PPB含量无疑是天方夜谭,这样说来,管路、接头、阀门组件就应全部采用此要求。气体与材质的附着性,应该是低含量的一大影响因素。
至于说到颗粒过滤器,这么低,也就意味着产生的气阻也会很大,前段压力会很大,是否有稳压阀。后段气流大,泄压快,测量时流速波动大,若无后段阻尼管或缓冲管,测量数值的稳定如何保证?通常光谱分析对流速要求较高。难道激光例外。个人观点。
斑竹说的很对,增加过滤器后当然会有压力衰减,但是由于这种激光原理水分仪需要的气源流量仅为1slpm(标准升/分钟),我用过的几种颗粒过滤器的在这种流量时的压降大概是1psig,此仪器需要入口压力为:10 - 125 psi (1.7 - 9.6 bar),所以影响很小,还有,在管路前段加一减压器,控制在仪器要求范围的60-80%左右,即使有压降也影响不大。
另外,管路中的连接方式应该均采用VCR方式连接,这样能保证很高的泄漏率!
LZ应该拍几张管路照片图,供大家参考!