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主题：【求助】请教XPS与AES的区别是什么，谢谢！

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lmwj1234
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发表于：2008/10/17 22:14:33 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问AES和XPS的区别是什么，都做溅射分析全谱，结果有什么差别么？谢谢！
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2008/10/18 8:51:08 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
AES是俄歇电子能普
XPS：光电子能普
因为俄歇电子是二次电子
所以非常弱
这样就造成俄歇的取谱深度更小
结果应该查不多
没有必要都做吧？
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duwf
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2008/11/21 23:33:41 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
AES和XPS得到的信息差别很大。XPS属于光电效应，而AES是入射电子打出原子的一个内层电子后，留下一个空位，高能级的电子填补这个空位同时释放能量，这一能量使同一个原子内的另一个电子被发射出来。因此AES谱与峰位置与入射电子能量无关。而XPS光电子能量与入射X射线能量有关。
相同之处是它们都能得到元素信息。但是XPS比较适合得到价态信息，而AES获得价态信息很困难。
AES的特点是电子容易聚焦，所以可以得到微米以下的空间分辨率，甚至达到10nm以内。此时又被称为SAM。
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