主题:【求助】请教AR-XPS计算中氧元素的平均自由程

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allenren
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本人通过AR-XPS测试表面的native oxide厚度。公式中需要知道氧的衰减长度(约等于平均自由程)。不知道哪位高手了解,或者告知在哪里可以查到相应的数据库。我的样品是Si表面的SiO2。谢谢!
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