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X射线荧光光谱仪（XRF）
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主题：【求助】想知道样品中元素含量-深度分布，采用什么技术呢？

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wyytg
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发表于：2008/12/19 11:40:21 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
结构是两层膜，上层是金属厚100nm，下层是Si厚400um。
想知道从顶层起深度1um以内的元素含量随深度变化的图。

用什么样的测试技术呢？

谢谢
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2008/12/21 18:01:22 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wyytg 发表:
结构是两层膜，上层是金属厚100nm，下层是Si厚400um。
想知道从顶层起深度1um以内的元素含量随深度变化的图。

用什么样的测试技术呢？

谢谢

用薄膜分析技术可以试试。
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wgjszx
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2008/12/21 22:04:12 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
GDOES辉光放电发射光谱仪
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2009/2/6 17:15:47 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wyytg 发表:
结构是两层膜，上层是金属厚100nm，下层是Si厚400um。
想知道从顶层起深度1um以内的元素含量随深度变化的图。

用什么样的测试技术呢？

谢谢


用GE-XRF来测,没问题,随探测器角度的变化,检测的深度逐渐加深,会给出一个非常清晰的随样品厚度的变化.会给出一个横坐标为角度(也就是射线在样品中的入射深度),综坐标为不同元素的检出强度的变化的曲线图.
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xiangyu316
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2009/2/26 15:12:34 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议用辉光光谱仪测试
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