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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：SE像中有BSE像的成分吗？

浏览0 回复6 电梯直达
SeanWen
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发表于：2005/06/22 18:26:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SE是非直线传播的，而BSE和X射线是直线传播的，X射线直线传播可以理解，但BSE也是带负电的，在探测器正压下为什么会还保持直线传播而不被吸收呢？还是有一部分还是进入SE探测器？BSE的直线传播又是不是跟它带的能量较大有关系呢？
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shxie
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2005/6/22 21:00:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
就是有也应该很少吧？

SEM能够提供精确聚焦电子束是提高图像分辨率的前题，还必须考虑SE在样品中的取样深度。在图2中，SE探测器置于样品上方的一侧，它总共接受四部分信号电子：SE1，SE2，SE3，BSE4。其中SE1来自主电子束(PE)入射区，是有用的成像信号，反映微观细节，它的取样深度t=5～10nm，可以形成高分辨率图像；SE2是深处背散射电子(BSE)在出射样品过程中产生的，远离电子束入射区，BSE范围大，可能来自入射电子在样品内的整个扩散区域，取样深度为微米量级，所占比例大，在重原子序数的样品中可达50％以上，形成图像中明亮的背景，降低了图像衬度，影响分辨率；SE3是出射的BSE激发样品室内另部件产生的，所占比例小，对图像影响不大；BSE4是以小立体角直射探测器的背散射电子，对图像形成的阴影效果有贡献。这四种电子出处各异，对图像影响不同，但探测器不能区分，全部收集。

－－－二次电子像质量
郭莉萍，吴东晓，张大同(华南理工大学测试中心，广东广州510641)
电子显微学报
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2006/10/10 17:27:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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hereyouare
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2006/10/11 14:18:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
bse的能量大，探测器的偏压不足以改变他的方向。这几天刚从书上看到

如果用上探头的话，可以避免bse，2次电子在磁场作用下螺旋向上，然后被探测器探测
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tao______
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2006/10/12 9:35:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个是正解。顶一下。
原文由 hereyouare 发表:
bse的能量大，探测器的偏压不足以改变他的方向。这几天刚从书上看到

如果用上探头的话，可以避免bse，2次电子在磁场作用下螺旋向上，然后被探测器探测
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toallen
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2006/10/16 23:50:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
日本电子是螺旋向上的,日立好象是垂直直接向上的,这个主要是因为电场的设置不一样.
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skyhunter
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2006/10/17 8:54:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
解释的非常详细!
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