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主题：【已应助】场发射电镜 低真空压力的疑问

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发表于：2022/04/13 11:46:25 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
  材料行业，金属、非金属、半导体都会涉及。小弟最近正在调研扫描电镜 ，设备厂家提供的设备参数不同厂家的低真空功能给的真空度范围有一定的差异。范围窄的像蔡司的2-133Pa,中等的像日立10-300Pa，高的像FEI的10-500Pa。有几个疑问请教大家：
  1.不知大家平时低真空常用的真空度是多少？
  2.像蔡司的133Pa满足的了平时需求吗？
  3.300~500Pa的真空度会用得到吗？
  4.好像只有蔡司sigma 300这台设备最低可以到2Pa,其他家最低都是10Pa。这个2Pa的不知有什么意义，2Pa能看的图像，10Pa是不是也能看，且图像质量差异不大？
推荐答案：hmzhou83回复于2022/04/14
  材料行业，金属、非金属、半导体这些应该都不涉及到低真空吧？个人感觉VP光阑很积累，与电镜的高分辨是矛盾的。
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2022/4/13 16:24:41 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
聚合物在VP模式下12KV/43Pa（BSE图象）；半导体材料10KV/20Pa（BSE图象）。这只是我看到的一些资料上的特定材质的选用电压/压力关系。具体的还是需要自己根据特定材料调节。一般靠点经验，但是，真空度越低，分辨率就会下降
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hmzhou83
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2022/4/14 21:45:43 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
  材料行业，金属、非金属、半导体这些应该都不涉及到低真空吧？个人感觉VP光阑很积累，与电镜的高分辨是矛盾的。
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