主题:【讨论】电镜

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蔡司扫描电镜进行显微结构的表征分析时,往往出现非常严重的荷电现象,进而得到衬度异常、形变或样品漂移的失真图像。这是由于在扫描电镜中,当电子束源源不断的轰击到样品上时,入射电子的电流等于二次电子电流、背散射电子电流、样品接地电流和荷电电流的总和。【图片】   对于导电性能好的样品,入射电子束产生的荷电电荷通过接地导走,不存在表面荷电现象。而对于导电性能不佳的样品,其接地电流几乎为零。
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