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主题：【讨论】mapping是图像飘移，如何解决？

浏览0 回复4 电梯直达
maxwellar
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发表于：2023/07/15 20:13:11 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题、电子束对中已做，mappinf图还是飘（但是sem图其实是不飘的，同样的样品，前一天做了都不飘，喷金后还是飘），求助？
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自信且不回家
m3229146
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2023/7/17 10:21:09 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用小光阑 小束流 低电压，软件EDS如果带漂移矫正选上。漂都是因为导电性不好或者样品没固定牢固。
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2023/7/17 10:22:04 Last edit by m3229146
maxwellar
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2023/7/17 10:22:11 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 自信且不回家(m3229146) 发表:用小光阑 小束流 低电压，软件EDS如果带漂移矫正选上。
那要扫很久的，信号量不够
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自信且不回家
m3229146
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2023/7/17 22:40:59 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 maxwellar(maxwellar) 发表:那要扫很久的，信号量不够
多喷点金。。
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UNM
v2942222
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2023/7/18 10:50:46 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品飘可能原因如下，请参考：
样品是否贴稳，如果是用的导电胶布，看换成导电胶是否有改善；
样品是否平整，如果样品表面不平整，长时间Mapping会漂移的；
是否倍数过高，放小倍数看是否可以改善；
样品导电性不好需要喷金或者镀炭来增强导电性。
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