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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：每周一问6：经常听到谈及最大分辨率和最大放大倍数，为什么不常听到最大景深和最小放大倍数呢？

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semuser
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2005/8/26 10:05:00 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
说白了鱼眼模式也很简单，大家的机器都可以做。
扫描线圈控制电子束在物镜磁透镜中偏转，由于球差原因，磁透镜只有很小的区域被用到，再此区域内球差很小，图像正常；超出的此区域的话，由于球差图像会变形，就是鱼眼模式看到的样子。
大部分厂家设计时认为变形的图像是不允许的，所以严格限制了扫描线圈的偏转能力，有时机器坏了，扫描输出过大就可以看到鱼眼效果。
在图像不变形的情况下，扫描面积越大才代表了物镜设计制造的水平高。
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shxie
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2005/8/26 10:50:00 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 semuser 发表:
说白了鱼眼模式也很简单，大家的机器都可以做。
扫描线圈控制电子束在物镜磁透镜中偏转，由于球差原因，磁透镜只有很小的区域被用到，再此区域内球差很小，图像正常；超出的此区域的话，由于球差图像会变形，就是鱼眼模式看到的样子。
大部分厂家设计时认为变形的图像是不允许的，所以严格限制了扫描线圈的偏转能力，有时机器坏了，扫描输出过大就可以看到鱼眼效果。
在图像不变形的情况下，扫描面积越大才代表了物镜设计制造的水平高。

讲的很透彻，很有收获，谢谢
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sissicatcat
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2007/12/22 14:54:35 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 shxie 发表:
其他不论，为什么会是在低电压下倍数才能变的更小，视野更广呢？



我们的仪器据说最小倍数是X5
不过我每次找样品都是X25下找的

斑竹可以解释下上面这个疑问么？
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RENXIN
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2008/1/4 17:35:50 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sissicatcat 发表:
原文由 shxie 发表:
其他不论，为什么会是在低电压下倍数才能变的更小，视野更广呢？



我们的仪器据说最小倍数是X5
不过我每次找样品都是X25下找的

斑竹可以解释下上面这个疑问么？

最小放大倍数是和最大工作距离一起联用的。
所以只有将样本台降到最低，才会有最大的广角，最小的倍数。
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