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主题：【已应助】求助成功，感谢灰米奇，hstudent，sxzhao！

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bibibag
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发表于：2010/02/25 16:45:02 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
【序号】：1
【作者】：赵嘉学; 童洪辉;
【题名】：磁控溅射原理的深入探讨
【期刊】：真空
【年、卷、期、起止页码】：2004年 04期 
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=ZKZK200404014&dbname=CJFD2004

【序号】：2
【作者】：吴代方; 童强; 侯炳林; 王贵义;
【题名】：双靶磁控溅射镀膜机及镀膜工艺
【期刊】：核聚变与等离子体物理
【年、卷、期、起止页码】：1998年 02期 
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=HJBY802.011&dbname=CJFD1998

【序号】：3
【作者】：张继成; 吴卫东; 许华; 唐晓红;
【题名】：磁控溅射技术新进展及应用
【期刊】：材料导报
【年、卷、期、起止页码】：2004年 04期 
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=CLDB200404016&dbname=CJFD2004

【序号】：4
【作者】：王勇; 王将; 陈平; 文小玲; 郭家智;
【题名】：磁控溅射实验仪器的改进
【期刊】：实验科学与技术
【年、卷、期、起止页码】：2005年 03期 
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=SYKS200503045&dbname=CJFD2005

【序号】：5
【作者】：邱清泉; 励庆孚; Jim; Finely;
【题名】：平面直流磁控溅射放电等离子体模拟研究进展
【期刊】：中国真空学会
【年、卷、期、起止页码】：2006年学术会议
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=ZGZU200610001152&dbname=cpfd2006
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2010/2/25 16:51:58 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2010/2/25 16:55:49 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2010/2/25 16:58:01 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2010/2/25 16:58:51 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2010/2/25 18:23:39 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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sxzhao
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2010/2/25 20:13:42 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是这样的，会议论文只有摘要的，下面是同一小组同名的期刊文章，希望对你有帮助。
附件：
平面直流磁控溅射放电等离子体模拟研究进展.pdf
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灰米奇
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2010/2/25 21:47:30 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
6楼应助的文献5是全文。
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cccyer
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2010/8/15 12:41:08 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
非常好的文献，太谢谢了
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