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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】清明回来电镜闹事了！

浏览0 回复15 电梯直达
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发表于：2010/04/06 11:50:04 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
同事周六还加班过，仪器正常中；等到周二过来，仪器开机后无图像，
出现的异常图片我已经拍下来了，下面传给大伙看看，给帮忙分析分析。
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jackcong
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2010/4/6 11:54:13 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我本人对电镜不太了解，之前在开机之后，没有放大样品的时候，
通常图片上应该是样品台的照片，可是现在全都是竖条纹，是不是
图像被垂直拉伸了呢？还是现在的成像部位根本不在样品上呢？
更换了灯丝、样品台，调节了对中等，均无明显变化！
急，等高人出现，指点指点。
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syning90
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2010/4/6 12:25:06 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
个人感觉问题出现在成像系统部分，lz有没有试试背散射的像？如果背散射没事就可以怀疑一下二次电子接收器部分，但最好还是请教一下厂家的工程师
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gyaxz2009
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2010/4/6 15:34:04 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我也没遇到过这种情况，感觉是根本没有成像，二次电子没有接收到，如果对中后还不行，最好找工程师联系
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jeolzxj
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2010/4/6 21:17:15 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好像是扫描部分出问题了。
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驰奔
srd2009
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2010/4/7 9:52:57 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
图像理解：电子束重复扫描样品的同一行，此图像上所有的行都是样品上同一行的位置。
扫描发生器Y调制电路不工作了，很小的问题，估计要厂家来花个几千块就解决了。如果你们自己懂得电路维修，也许几十块钱就可以修好。
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fengyonghe
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2010/4/7 22:23:11 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
基本上是楼上说的，由于显示器与样品是同步扫描的，既然显示器扫描正常，说明扫描发生器工作正常，只是电镜的Y扫描线圈没有工作。
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forzamarco
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2010/4/8 11:36:51 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
除了楼上的几位所说的以外,Y向扫描有问题外,个人再补充一点,楼主的设备有接EDS吗?SEM送信号到EDS再回到SEM,这个回路有时也有问题.以前我碰到过EDS的Digital Map Box有问题,导致SEM观察的影像有问题.建议楼主可以尝试断开EDS,直接在SEM上观察影像.
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春天的桃子
dct1983
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2010/4/19 8:29:39 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
图像理解：电子束重复扫描样品的同一行，此图像上所有的行都是样品上同一行的位置。
扫描发生器Y调制电路不工作了，很小的问题，估计要厂家来花个几千块就解决了。如果你们自己懂得电路维修，也许几十块钱就可以修好。

就是这样的
我们这边的有的时候也是的
把电路板打开
用个绝缘的东西轻轻的敲敲电路板可就好的、
是电路板中的一个元件出了问题
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wang200604
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2010/4/26 14:37:35 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
镜筒Y扫描坏了，检查一下大功率管的好坏。
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august001
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2010/4/28 14:47:20 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有没有EDS分析设备,有可能是影像信号被EDS截取之后没有恢复造成的.
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