主题:【已应助】求一篇英文文献

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六脉神剑
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题目:Critical Technologies for the Micromachining of Silicon
期刊:
Semiconductors and Semimetals
Volume 37, 1992, Pages 293-337
作者:Don L . Kendall. Charles B . Fleddermann and
Kevin J . Malloy
推荐答案:wangshirf回复于2010/07/16
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