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主题：【求助】XPS能测出元素的浓度吗

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wangleiray1029
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发表于：2010/12/13 09:52:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我做了深剖，只会算出atomic percentage 想得到各个元素的concentration profile，不知道能不能得到，看文献AES可以

用的设备是thermofish 的K-α，用的是avantage软件
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2010/12/13 10:20:17 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以的，仔细把它用好
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wangleiray1029
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2010/12/13 10:32:24 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问在哪里呢？？急求
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yuansu123456
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2010/12/13 10:55:06 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是想得到浓度随深度的分布曲线吧？可以的，自己软件选一下就可以了。。。。
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wangleiray1029
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2010/12/13 10:59:50 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我只知道选atomic percentage的
那个浓度的选项在哪里
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feixiong5134
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2010/12/13 14:49:19 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你可以看看说明书！
是在不行问工程师
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westlover
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2010/12/14 12:28:17 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
仔细阅读说明书。
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catfl
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2010/12/22 21:26:05 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个不就是%的比例吗？那个归一化的也是，就是相对的百分比，随刻蚀时间变化的浓度比例。还有高度比这些，你分别选择几个比较下
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