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主题：【讨论】如何维持良好的真空状态？

浏览0 回复12 电梯直达
symmacros
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发表于：2011/01/12 20:50:25 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如何维持良好的真空状态？欢迎大家讨论。
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2011/1/12 21:44:09 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.确保泵 状态良好
2.气密性也要好
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dahua1981
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2011/1/13 8:45:02 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
及时检查更换泵油
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appleting2005
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2011/1/13 9:39:42 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
每次换完隔垫及衬管后要检漏，气瓶，气路管，进样口等细微处都要检查一下。
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小琪
thxdyx
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2011/1/13 9:40:24 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
定期检查GC和MS相连处的接口螺帽，这一点很重要。
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2011/1/13 13:08:34 Last edit by thxdyx
莞城.XiShui
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2011/1/13 10:11:21 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
气密性要好是关键
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luoqinliang
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2011/1/13 10:12:31 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
定期检查，保养
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wdshgy
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2011/1/13 11:33:49 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1，确保抽空设备正常，机械泵定期更换泵油，不要掉碎片到涡轮分子泵中；
2，尽量少开关真空腔，
3，定期更换隔垫。
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symmacros
jimzhu
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2011/1/15 23:23:11 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还有：

防止各种可能的污染，真空室内的零件，操作时带手套。

尽量保证仪器连续运行。
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hanjiantaohjt
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2011/1/16 19:45:19 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
仪器要连续运作，不要经常开停，经常启动关机对泵的影响大。
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shupingliu2009
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2011/1/18 8:57:36 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
如何维持良好的真空状态？欢迎大家讨论。


我用的PE的气质漏气，郁闷 啊，开关都好多次了，抽到3个小时左右就自动停了，真无奈啊
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