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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：关于线扫描的问题_定量

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happydfli

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发表于：2006/01/05 10:19:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

该帖子已被shxie设置为精华；

请问做能谱分析的时候，如果做线扫描通常纵坐标给出的只是简单的强度计数率而不是重量百分比WT%,哪个厂家的能谱仪软件可以直接给出WT％呢？

据说Oxford 的link 可以做到这一点，但我问过国内几家使用SEM的学校和研究所，都说他们的能谱做不到这一点，甚至说INCA也不行，据我所知，INCA是link的更新版本呀？

我想这个功能应该是大多数能谱仪EDS软件的标配功能呀，请问各位有无这方面的经验？

还有就是如果进行比较精确的定量分析，一般需要进行校正，有人说用Co校正就可以了，然后根据能谱里存储的个元素能谱图就可以定量分析了，是这样吗？校正到底要注意什么问题呢？

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2006/1/5 19:17:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

怎么没有人回应呀,急!

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2006/1/5 20:33:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 happydfli 发表:
请问做能谱分析的时候，如果做线扫描通常纵坐标给出的只是简单的强度计数率而不是重量百分比WT%,哪个厂家的能谱仪软件可以直接给出WT％呢？

据说Oxford 的link 可以做到这一点，但我问过国内几家使用SEM的学校和研究所，都说他们的能谱做不到这一点，甚至说INCA也不行，据我所知，INCA是link的更新版本呀？

我想这个功能应该是大多数能谱仪EDS软件的标配功能呀，请问各位有无这方面的经验？

还有就是如果进行比较精确的定量分析，一般需要进行校正，有人说用Co校正就可以了，然后根据能谱里存储的个元素能谱图就可以定量分析了，是这样吗？校正到底要注意什么问题呢？

线扫的定量，对应的不是所有点，而应该是有一定步长的点集合吧？否则定量起来岂不是工作量很大？至于定量问题，我倒是听说现在的INCA里，point ID模块有相应的面扫mapping，每个点都有定量的值。

另外你需要告诉大家你的仪器型号，也好让有相同型号或者类似经验的人来给你解答啊。

至于校正，本版的精华贴和FAQ贴里面有些谈到了，你可以翻阅一下，即便再急，在等待别人解答的同时，何不自己找一下答案？
如果需要精确定量，除了用Co或者Ni等标样来定峰位，最好需要和样品同样或类似组成的特殊标样来定量计算作为内标，这样的定量结果才更可信。

个人的经验，仅供参考。

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spring

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2006/1/6 11:02:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我们使用的是INCA能谱仪，在最后的试验报告中有样品元素的重量百分比，至于校正，听仪器代理商说最好买所测元素的标样进行所有的校正。

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happydfli

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2006/1/6 13:20:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

多谢了。

扫描电镜是FEI的场发射，quanta200 或 xl30，还有日本电子的6700F，能谱是oxford的，一个是link型号，一个是Inca400的。

有人说先线扫完成，然后在线的起始点和终点再作一次点分析，得出定量信息，把强度转成定量值就行，这似乎可行，虽然不是很理想。

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jzhx68

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2006/1/11 13:13:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

EDAX能谱能做到

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happydfli

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2006/1/11 13:40:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 jzhx68 发表:
EDAX能谱能做到

能否提供EDAX的联系信息。

另外，我联系了INCA，它需要一个附加软件就可以实现这个功能。

如何实现重量百分比或原子百分比的线扫描?
一般Mapping导航器里的Linescan的线扫描分析只是相对量的趋势变化. 而在Point&ID 导航器里借助Lines & Grids 软件就可以轻松实现重量百分比或原子百分比的线分布分析.

1 : Lines & Grids中的工具任意拉一条线, 并划分为任意指定的点, 能谱将逐点采集谱图

2: 所有点的谱图定量结果都存储下来

3:线性峰型选项中可对任意元素的重量百分比给出线分布图, 点击右键还能输出数据到Excel中进行进一步的编辑

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