技术指标 分光系统 l 光室恒温：15℃，恒温精度：±0.1℃ l 帕邢-龙格光学系统，焦距：750mm l 全息光栅：2*3600，1*1800线grooves/mm l MgF2光学组件，光栅材质为Zerodur l 波长范围：130-770nm，一级全谱成像 l 入射狭缝15μm
检测器 l 32个线性检测器：3648像素/CCD l 分辨率（Pixel）: 3 pm（130nm-340nm） 6 pm（340nm-770nm） l 热稳定光学系统 l 高速数据读出电路 l 动态范围：108 l 最短积分时间为：1ms l 最短测量时间为：2s l TCP/IP协议，支持数据远程传输和再处理
远紫外区光学系统UV-PLUS l 专利的远紫外区光学系统UV-PLUS l 氩循环，无须吹扫 l 入射光路光学器件易于维护 l 自动其它净化系统 l 长寿命净化器
激发光源 l 自激式，频率为27.12 MHz l 输出功率为0.7到1.7 kW l 稳定性<0.1% l “待机模式”可有效降低功率和氩气的消耗 l 风冷式冷却装置 l 全计算机控制
尺寸和重量 l 1074 mm(高)*1560 mm（宽）*750 mm(深) l 重量：250kg（约551 lbs）
环境条件 l 温度范围：18—35℃（64-95℉） l 相对湿度：< 80% l 不能有腐蚀性气体或大量的灰尘
废气排放需求 l 水平式观测模式：250 m3/小时（150 cft/min） l 垂直式观测模式：300 m3/小时（175 cft/min） l 发生器：250 m3/小时（150 cft/min）
氩气 l ≥4.6（99.996%） l 压力：7.5 bar ( 109 psi )
OPI冷却装置 l 进口温度：5-25 ℃（41-77 ℉） l 流速：1.5-2.5 l/min (0.4-0.7 gal/min) l 水压：1-5 bar (14.5-72.5 psi)
电源要求 l 230 VAC±10%,50/60Hz l 功率消耗：大约5 KVA l 30-32A慢熔保险
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