主题:【讨论】【解读材料表征仪器参数之显微镜篇】第一期:扫描电镜(参与有重奖!)

浏览0 回复41 电梯直达
aoqiu
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
很想看看这个扫描电镜的。

版主提醒:请不要发布广告!
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
2011/5/5 15:24:30 Last edit by mitchell_dyzy
小M
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 asahi42(asahi42) 发表:

2:光阑孔越多,可供选择的参数量就越大。在其它参数不变的情况下,使用的光阑孔径越大,则束流越大,束斑越大,图像信噪比越好,图像信号量越大,景深越差,图像分辨率越差,适合于能谱、波谱等要求大束流的分析;使用的光阑孔径越小,则束流越小,束斑越小,图像信噪比越差,图像信号量越小,景深越好,图像分辨率越好,适合于钨灯丝的高分辨和场发射的超高分辨观察。因此,光阑在“光阑孔”这个指标上一般需参考两个因素:一是光阑孔数量,二是最小孔径大小。

以上,欢迎各位交流讨论~


信噪比是信号与噪声的比值吧,用大光阑信噪比更好?信噪比和图像质量有关系吗?

谢谢asahi42支持!
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
2011/5/5 15:43:58 Last edit by mitchell_dyzy
小M
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 atlas(atlas) 发表:
除FEI外,还有哪些品牌是热场的?


除了FEI,日本电子,日立,蔡司都有热场发射的扫描电镜
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
2011/5/5 15:52:51 Last edit by mitchell_dyzy
疯子
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
8、真空系统中涡轮分子泵和离子泵的作用分别是什么?
真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。   为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。
该帖子作者被版主 mitchell_dyzy5积分, 2经验,加分理由:好!
疯子
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
分辨率即分辨本领是扫描电镜的主要性能指标之一。在理想情况下,二次电子像分辨率等于电子束斑直径。

场深在SEM中,位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以,SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

作用体积电子束不仅仅与样品表层原子发生作用,它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用,所以存在一个作用“体积”。

电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。   电子枪:用于产生电子,主要有两大类,共三种。一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空。但它具有至少1000小时以上的寿命,且不需要电磁透镜系统。另一类则是利用热发射效应产生电子,有钨枪和六硼化镧枪两种。钨枪寿命在30~100小时之间,价格便宜,但成象不如其他两种明亮,常作为廉价或标准扫描电镜配置。六硼化镧枪寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间,为200~1000小时,价格约为钨枪的十倍,图像比钨枪明亮5~10倍,需要略高于钨枪的真空,一般在10-7torr以上;但比钨枪容易产生过度饱和和热激发问题。   电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组:   汇聚透镜:顾名思义,汇聚透镜用汇聚电子束,装配在真空柱中,位于电子枪之下。通常不止一个,并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关。   物镜:物镜为真空柱中最下方的一个电磁透镜,它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。



先声明,我都是百度查的!!!
该帖子作者被版主 mitchell_dyzy5积分, 2经验,加分理由:百度,你知道的太多了!
yangcanwei
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
asahi42
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
原文由 asahi42(asahi42) 发表:

2:光阑孔越多,可供选择的参数量就越大。在其它参数不变的情况下,使用的光阑孔径越大,则束流越大,束斑越大,图像信噪比越好,图像信号量越大,景深越差,图像分辨率越差,适合于能谱、波谱等要求大束流的分析;使用的光阑孔径越小,则束流越小,束斑越小,图像信噪比越差,图像信号量越小,景深越好,图像分辨率越好,适合于钨灯丝的高分辨和场发射的超高分辨观察。因此,光阑在“光阑孔”这个指标上一般需参考两个因素:一是光阑孔数量,二是最小孔径大小。

以上,欢迎各位交流讨论~


信噪比是信号与噪声的比值吧,用大光阑信噪比更好?信噪比和图像质量有关系吗?

谢谢asahi42支持!


是的~光阑孔越大,通过光阑孔的电子总量就越大,激发出的信号量越多,信噪比就会更好。一般而言,信噪比越高,图像质量会越好,但是,光阑孔开大的负面因素是在样品表面扫描的束斑变大。同时,因为使用大光阑孔,遮挡掉的杂散电子数量减少,这一方面也造成了束斑变大;束斑越大,图像虽然信噪比好,但是分辨率差,是个矛盾,需要根据客户的样品需要来取舍~

冗长了冗长了,大家将就着看看~
该帖子作者被版主 mitchell_dyzy5积分, 2经验,加分理由:进一步解释,继续奖励!
小M
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
手机连"回复本帖"的功能都用不了…

我们曾经遇到过一次光阑选择的经历。随着灯丝使用时间增加,图像亮度有所下降,能谱接收到的X射线光电子数比以前要少。工程师检查过后,在换新灯丝之前,将光阑调大了。结果图像亮度提升,能谱CPS提升,但是分辨率反而比调之前下降了一点。只能说这样子更加适合做能谱分析。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
2011/5/10 23:42:30 Last edit by mitchell_dyzy
lyxecust
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
SEM 常配的附件中有EDX, 用于表面元素分析用
该帖子作者被版主 mitchell_dyzy2积分, 2经验,加分理由:能谱仪,常用附件之一
iangie
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 春天的桃子(dct1983) 发表:
冷场和热场得区别:
  冷场发射式最大的优点为电子束直径最小,亮度最高,因此影像分辨率最优。能量散布最小,故能改善在低电压操作的效果。为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,并使发射电流不稳定,冷场发射式电子枪必需在10-10 torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing),以去除所吸附的气体原子。它的另一缺点是发射的总电
流最小。
  热场发式电子枪是在1800K温度下操作,避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面,所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度,并能在较差的真空度下(10-9 torr)操作。虽然亮度与冷式相类似,但其电子能量散布却比冷式大3~5倍,影像分辨率较差,通常较不常使用。


哪不常使用? Zeiss的SEM上的FEG大多是热场的~~
该帖子作者被版主 mitchell_dyzy1积分, 2经验,加分理由:积极讨论
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
品牌合作伙伴